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浙江景程生物科技有限公司

Turbo-V 1001 Navigator渦輪分子泵

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更新時間:2021-11-20 10:02:18瀏覽次數:279次

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Turbo-V 1001 Navigator渦輪分子泵,提供從 790 至 1050 L/s(視氣體而定)的抽速,并且采用 Navigator 產品線中*的技術。安捷倫渦輪分子泵經過優化設計,可以在低壓強內實現高壓縮比,在大抽氣量和高前級壓強時實現大的壓差。該泵無油、無污染,并且具有非常低的故障率,可以在任何位置任意角度安裝而不對材料施加應力。

Turbo-V 1001 Navigator 泵提供從 790 至 1050 L/s(視氣體而定)的抽速,并且采用 Navigator 產品線中*的技術。安捷倫渦輪分子泵經過優化設計,可以在低壓強內實現高壓縮比,在大抽氣量和高前級壓強時實現的壓差。該泵無油、無污染,并且具有非常低的故障率,可以在任何位置任意角度安裝而不對材料施加應力。典型的平均故障時間 (MTTF) 大于 250000 小時。渦輪分子泵的應用范圍包括高能物理和研究、納米技術、質譜技術、工業真空加工和半導體,并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的泵。

Turbo-V 1001 Navigator渦輪分子泵特性:

1.功耗更低、性能更佳

2.通過減少發熱而節能,并提高可靠性

3.為風冷而優化的冷卻翅片

4.通過降低工作溫度進一步提高可靠性

5.Turbo-V 81-M MacroTorr 泵具有優化的幾何尺寸

6.功率要求低,前級耐壓高及可承受高氣載

7.可拆卸的前級連接器

8.可連接各種前級泵

9.冷卻方式靈活(風冷或水冷)

10.采用安捷倫 A-PLUS 軟件(原 T-plus 軟件)

典型渦輪泵應用:

安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設計旨在實際應用中達到較佳性能。泵的緊湊型設計滿足工業中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護,并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設備制造商,安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統。

典型渦輪泵應用

領域詳細說明應用
質譜和分析儀器
  • 針對質譜系統優化的全系列泵和控制器
  • 具有多入口泵組的定制泵
  • 低成本、易于使用、高分析性能
  • 對于 GC/MS,提供用于相對低氣體載荷環境的 1 個真空室和用于分析無機樣品的中等真空接口
  • 對于 LC/MS,需要提供多室、高通量真空系統
  • 對于 ICP-MS,提供多種真空系統,包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
  • 對于 TOF 系統,需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設備
  • 質譜
  • GC/MS
  • LC/MS
  • ICP-MS
  • TOF
科研中的真空應用
  • 非常清潔、可靠和高性價比的 HV 和 UHV
  • 粗真空軸承未暴露于 UHV,降低了污染
  • 高速和高壓縮
  • 可以以任意角度安裝
  • 聯用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 高能物理
  • 融合技術
  • 一般 UHV 研究
  • 同步光源粒子加速器
工業真空加工
  • 為薄膜沉積應用而專門設計的集成分子泵解決方案
  • 適用于原始設備制造商和終端用戶的專業性能
  • 適用于具有預真空鎖或大型內聯連續系統的單室批量系統和多室系統的泵

薄膜沉積:

  • 玻璃涂層設備(建筑和汽車玻璃,平板顯示器)
  • 薄膜太陽能電池生產(光電)
  • 光學數據介質(CD、DVD、磁光光盤)
  • 磁性存儲介質
  • 表面處理
  • 光學涂層(眼科、精密光電)
  • 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆

設備加工:

  • 生產電視機和顯示器顯像管
  • 疏散燈(高速公路照明、投影機)
  • X 射線管和電子設備

一般工藝:

  • 真空爐/冶金
納米技術儀器
  • 分析從有機化合物到半導體晶片等各類物質
  • 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴苛的 SEM、TEM 和表面分析系統
  • 低振動渦旋泵適用于最敏感的顯微分析
  • 可快速、無油式排空大型樣品室內的氣體
  • 集成的泵控制器可靈活進行控制,幾乎不生成電磁噪音
  • 非常適合為半導體生產創造合適環境
  • 高轉速確保能夠以高泵速抽空半導體生產中釋放的輕質氣體(He、H)
  • 符合高速循環應用的嚴格要求,例如真空裝載鎖
  • 通過對多個渦旋泵聯用一個前級泵,可提高工具的可靠性
  • 聯用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設備放置于遠處
  • 電子顯微鏡(SEM、TEM)
  • 聚焦離子束系統 (FIB)
  • 表面分析
  • 半導體制造

Turbo-V 1001 Navigator渦輪分子泵技術規格:

抽速:

ISO 160:

CFF 10 英寸或 ISO 200:

ISO 250:

N2:790 L/s

N2:950 L/s

N2:1050 L/s

He:820 L/s

He:870 L/s

He:900 L/s

H2:860 L/s

H2:900 L/s

H2:920 L/s

壓縮比:ISO 160N2:1 × 109He:1 × 107H2:1 × 106
極限真空*(使用推薦的前級泵)< 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr)   
抽氣口法蘭ISO 160 ISO 200ISO 200-F 螺栓CFF 10 英寸ISO 250 ISO 250-F 螺栓
前級管道法蘭KF 40   
轉速38,000 rpm   
啟動時間小于 4 分鐘   
推薦的前級泵機械:Agilent DS 402 旋渦式干泵:Agilent TS300,IDP-15   
工作位置任意   
冷卻要求強制通風或水冷   
烘烤溫度

抽氣口法蘭溫度 120 °C(CF 法蘭)

抽氣口法蘭溫度 80 ℃(ISO 法蘭)

   
振動參數(位移)在抽氣口法蘭處小于 0.01 μm   
重量 kg(磅):

ISO 160 法蘭

ISO 200 法蘭

CF 10 英寸法蘭

ISO 250 法蘭

ISO 200-F 和 250-F 螺栓法蘭,CF 10 英寸法蘭

19 (41.8)

19.4 (43.0)

25.5 (54.2)

21.2 (46.6)

25.5 (54.2)

 

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