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浙江景程生物科技有限公司

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美國Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵

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更新時間:2021-11-20 09:58:50瀏覽次數(shù):188次

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美國Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵,采用 TwisTorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟性。TwisTorr 拖動技術對小分子氣體(如氫氣和氦氣)能提供高壓縮比,從而實現(xiàn)大抽氣量和高前級耐壓,進而能使用更經(jīng)濟實惠、更小型的前級泵。

Agilent TwisTorr 804 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟性。TwisTorr 拖動技術對小分子氣體(如氫氣和氦氣)能提供高壓縮比,從而實現(xiàn)大抽氣量和高前級耐壓,進而能使用更經(jīng)濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉子能采用緊湊的設計,變得高效節(jié)能,并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動,并能保證較佳的軸承工作條件,從而能延長工作壽命,減少系統(tǒng)停機時間,并能確保長時間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 804 FS 泵的軸承和干式潤滑劑設計,使得泵無需泵油和維護,能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機架控制器。

美國Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵特性:

1.創(chuàng)新的 TwisTorr 技術 — 對小分子氣體的高壓縮比實現(xiàn)了高性能和最小的系統(tǒng)占用空間。

2.高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵,從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。

3.安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動、低噪音和較佳軸承工作條件可延長泵的使用壽命,從而實現(xiàn)使用維護成本優(yōu)化,最減少系統(tǒng)停機時間,并保證長時間穩(wěn)定的抽氣性能。

4.的軸承和干式潤滑劑 — 免維護、免油,實現(xiàn)任意角度安裝。

5.“三維”泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達到,可在泵的操作條件下達到較佳通量和壓縮性能。

典型渦輪泵應用:
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設計旨在實際應用中達到較佳性能。泵的緊湊型設計滿足工業(yè)中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護,并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設備制造商,安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。 

美國Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵應用:

領域詳細說明應用
質譜和分析儀器
  • 針對質譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器
  • 具有多入口泵組的定制泵
  • 低成本、易于使用、高分析性能
  • 對于 GC/MS,提供用于相對低氣體載荷環(huán)境的 1 個真空室和用于分析無機樣品的中等真空接口
  • 對于 LC/MS,需要提供多室、高通量真空系統(tǒng)
  • 對于 ICP-MS,提供多種真空系統(tǒng),包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
  • 對于 TOF 系統(tǒng),需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設備
  • 質譜
  • GC/MS
  • LC/MS
  • ICP-MS
  • TOF
科研中的真空應用
  • 非常清潔、可靠和高性價比的 HV 和 UHV
  • 粗真空軸承未暴露于 UHV,降低了污染
  • 高速和高壓縮
  • 可以以任意角度安裝
  • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 高能物理
  • 融合技術
  • 一般 UHV 研究
  • 同步光源粒子加速器
工業(yè)真空加工
  • 為薄膜沉積應用而專門設計的集成分子泵解決方案
  • 適用于原始設備制造商和終端用戶的專業(yè)性能
  • 適用于具有預真空鎖或大型內聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵

薄膜沉積:

  • 玻璃涂層設備(建筑和汽車玻璃,平板顯示器)
  • 薄膜太陽能電池生產(chǎn)(光電)
  • 光學數(shù)據(jù)介質(CD、DVD、磁光光盤)
  • 磁性存儲介質
  • 表面處理
  • 光學涂層(眼科、精密光電)
  • 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆

設備加工:

  • 生產(chǎn)電視機和顯示器顯像管
  • 疏散燈(高速公路照明、投影機)
  • X 射線管和電子設備

一般工藝:

  • 真空爐/冶金
納米技術儀器
  • 分析從有機化合物到半導體晶片等各類物質
  • 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng)
  • 低振動渦旋泵適用于最敏感的顯微分析
  • 可快速、無油式排空大型樣品室內的氣體
  • 集成的泵控制器可靈活進行控制,幾乎不生成電磁噪音
  • 非常適合為半導體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境
  • 高轉速確保能夠以高泵速抽空半導體生產(chǎn)中釋放的輕質氣體(He、H)
  • 符合高速循環(huán)應用的嚴格要求,例如真空裝載鎖
  • 通過對多個渦旋泵聯(lián)用一個前級泵,可提高工具的可靠性
  • 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
  • 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設備放置于遠處
  • 電子顯微鏡(SEM、TEM)
  • 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB)
  • 表面分析
  • 半導體制造

美國gilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵性能指標 :

抽速:ISO200K-F

ISO250K-F

CFF10
N2
He
H2
Ar
720 L/s
660 L/s
485 L/s
690 L/s
  
氣體通量 (*)風冷
(空氣溫度 25 °C)
水冷
(水溫 15 °C/室溫 25 °C)
 
N24.3 mbar L/s
255 SCCM
6.1 mbar L/s
367 SCCM
 
He7.9 mbar L/s
467 SCCM
10.4 mbar L/s
615 SCCM
 
Ar1.5 mbar L/s
89 SCCM
3.3 mbar L/s
195 SCCM
 
(*) 前級泵 11.6 m3/h   
壓縮比與前級耐壓關系*   
N2
He
H2
Ar
> 1E + 11
2E + 08
3E + 06
1E + 11
10 mbar
10 mbar
4 mbar
8.5 mbar
 
(*) 前級耐壓定義為,在水冷模式下,當渦輪泵仍能產(chǎn)生 100 的壓縮比時的壓力   
采用推薦前級泵時的極限真空< 1 × 10-10 mbar
(< 1 × 10-10 Torr)
  
抽氣口法蘭ISO 200K,ISO 200F,ISO 250K,
ISO 250F,CFF 10 英寸
  
前級管道法蘭NW25 或 NW40  
推薦的前級泵DS302
IDP10
IDP15
  
工作位置任意  
操作環(huán)境溫度+5 °C 至 +35 °C  
潤滑油長期性脂潤滑  
冷卻要求   
風冷空氣溫度由 +5 °C 至 35 °C  
水冷水溫由 +15 °C 至 +25 °C
水流速 100 L/h
  
噪音壓力級別
(全速運行時距離 1 m 處)
43 dB(A)  

Agilent渦輪分子泵

Agilent渦輪分子泵TwisTorr 804 FS采用 TwisT

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安捷倫渦輪分子泵TwisTorr 84 FS

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