Turbo-V 2K-G 不僅僅是一臺(tái)泵。它是專門為等離子濺射工藝精心設(shè)計(jì)的分子泵系統(tǒng)。其葉片級(jí)數(shù)和泵的整體結(jié)構(gòu)均經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可以工作在高氬氣氛圍下和溫度*的環(huán)境中。此外,它還擁有內(nèi)置的控制器件、一體化的放空和充氮?dú)獗Wo(hù)閥以及免維護(hù)的軸承。所有這些特點(diǎn)使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業(yè)出色泵解決方案。
Turbo-V 2K-G美國(guó)進(jìn)口渦輪分子泵特性:
1、為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計(jì)的分子泵解決方案
2、現(xiàn)有的性能、緊湊的儀器
3、采用*集成的方法提高系統(tǒng)效率和正常運(yùn)行時(shí)間的渦輪分子泵
4、將渦輪分子泵、驅(qū)動(dòng)器件、電源、MoniTorr、吹掃氣裝置和通信裝置集于一身
5、通用電子器件接口并配有操作簡(jiǎn)單的控制軟件模擬 I/O 信號(hào)以及 RS232/RS485 接口等標(biāo)準(zhǔn)配置
6、安捷倫 Profibus 接口(可選)
7、采用了安捷倫 A-PLUS 軟件(原 T-plus)
Turbo-V 2K-G美國(guó)進(jìn)口渦輪分子泵渦輪分子泵應(yīng)用范例:
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到較佳性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù),并可避免錯(cuò)誤使用。無(wú)論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
典型渦輪泵應(yīng)用:
領(lǐng)域 | 詳細(xì)說(shuō)明 | 應(yīng)用 |
質(zhì)譜和分析儀器 |
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科研中的真空應(yīng)用 |
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工業(yè)真空加工 |
| 薄膜沉積:
設(shè)備加工:
一般工藝:
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納米技術(shù)儀器 |
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技術(shù)規(guī)格:
抽速: | N2:1600 L/s | ?? |
壓縮比: | N2:3 × 105 | |
極限真空*(使用推薦的前級(jí)泵) | < 1 × 10-8 mbar | |
入口法蘭 | ISO 250F | |
前級(jí)管道法蘭 | KF 40 NW | |
額定轉(zhuǎn)速 | 33000 rpm | |
啟動(dòng)時(shí)間 | < 7 分鐘 | |
推薦的前級(jí)泵 | > 40 m3/h | |
工作位置 | 任意位置 | |
操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +40 ℃ | |
電源 輸入電壓 輸入頻率 | 100–240 Vac 50-60 Hz | |
通訊接口 | 模擬 I/O RS232/RS485 Profibus | 標(biāo)準(zhǔn) 標(biāo)準(zhǔn) 可選 |
尺寸 | 高度
| 335 mm(13.18 英寸) |