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上海衡鵬企業發展有限公司
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OKAMOTOGNX200B晶圓研磨機特點：GNX200B擁有BG研磨技術
OKAMOTO GNX200B晶圓研磨機特點： |
GNX200B擁有BG研磨技術。 |
日本機械學會授予岡本標準傳送方式及向下研磨方法技術獎 |
主軸機械精度可調 |
岡本自產鑄金一體化結構，不易老化，精度持久 |
潤滑系統有完善防護，避免異物進入造成磨損 |
適用晶圓尺寸： 4"、5"、6"、8" 晶圓厚度： 1000μm |
可切換全自動、半自動操作模式 |
17 寸觸控操作與監控屏，監控氣壓、電流、水流、厚度等 |
研磨耗材損耗小，加工成本低廉 |
研磨硅屑細小，沖洗更干凈 |
OKAMOTO GNX200B晶圓研磨機規格參數： |
規格 | GNX200B | GNX300B |
加工直徑 | Ф200㎜ | Ф300㎜ |
主軸轉速范圍 | 0~3600rpm | 0~3000rpm |
主軸驅動電機功率 | 2.2kW/4kW | 5.5kW/4kW |
主軸進給速度范圍 | 1~999μm/min | |
主軸數 | 2 | |
工作盤轉速范圍 | 1~300rpm | |
研磨輪尺寸 | Ф250㎜ | Ф300㎜ |
設備整重 | 3900kg | 5700kg |
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