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MOTIC MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡

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產品簡介

MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡概要：MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡采用靈活的模塊化設計、不僅確保的光學性能，還具有安全穩定的機架結構，使之低重心、高剛性、高穩定性，極大的提高了顯微鏡的抗振能力，使MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡可廣泛的應用于工業檢測及大型試樣檢測，特別是LCD液晶屏行業、晶圓行業的理想檢測工具

詳細介紹

MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡概要：

MET80L/MET120L 晶圓觀察顯微鏡采用靈活的模塊化設計、不僅確保的光學性能，還具有安全穩定的機架結構，使之低重心、高剛性、高穩定性，極大的提高了顯微鏡的抗振能力，使 MET80L/MET120L 晶圓觀察顯微鏡可廣泛的應用于工業檢測及大型試樣檢測，特別是 LCD 液晶屏行業、晶圓行業的理想檢測工具。

MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡特點：

采用前置低位粗微同軸調焦系列，配合渦輪渦桿的自鎖結構，使之在超大負荷工作下也不會出現下滑現象，

以及長期使用的可靠性

超大行程移動平臺，移動范圍: 305mmX305mm, 可適用于 12"的晶圓、LCD 或FPD 檢測，

也可用于小尺寸樣品的陳列檢測，通過切換離合器手柄可實現全行程范圍內的快速移動。

多樣的照明器可供選擇：12V50W 鹵素燈明場落射照明，12V50W 鹵素燈明暗場落射照明，LED明場落射

照明，可以根據需要選擇，電器全部內置主機，方便操作。

高精度物鏡轉換器：采用精密軸承設計，秉承了麥克奧迪輕巧舒適的手感和良好的重復定位精度及同心精度。

MET80L/MET120L晶圓觀察顯微鏡的規格參數

	MET80L	MET120L
光學系統	CCIS 無限遠色差校正光學系統
目鏡	高眼點平場大視野，±5D 視度調節，10X/20，明場可選（10X/22）
物鏡	長距明場金相物鏡 5X/0.13，10X/0.30，20X/0.40
觀察筒	30°傾斜鉸鏈式雙目鏡筒；30°傾斜鉸鏈式三目鏡筒
雙目鏡筒瞳距	55~75mm
樣品厚度	≥ 38mm
物鏡轉換器	內定位五孔物鏡轉換器
中間體	12V50W 鹵素燈明場落射照明， 12V50W 鹵素燈明暗場落射照明， LED 明場落射照明，全部采用反射式柯拉照明，帶可調式可變視場光欄和可變孔徑光欄，可配偏光附件
偏光附件	附件式，檢偏器可 360 度旋轉，消光比≥ 10000
粗微動調焦裝置	粗微同軸調焦，粗動調焦 3mm/ 轉，微動調焦 0.1mm/ 轉，0.001mm/ 格。
機械移動載物臺	移動范圍 : 8"X 8"mm 選配：圓晶臺板	移動范圍 : 8"X 8"mm 選配：圓晶臺板