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超聲波清洗用超純水設備工藝流程：

    預處理部分→一級RO系統→二級RO系統→EDI系統→拋光系統→終端用水

超聲波清洗用超純水設備工藝介紹：

1、預處理部分：

　　包含原水箱、原水泵、加藥系統、藥劑混合器、流量計、過濾系統。其中在過濾系統中，此桶體材質為碳鋼，內壁襯膠。當原水流過過濾器的濾料層時，濾料縫隙對懸浮物起到篩濾作用，使懸浮物易于截留在濾料表面。當在濾料表層截留了 一定量的污物時，則形成污物濾膜層，從而增進過濾效果，保證過濾器出水質量。透過濾層的水進入下一過濾器。過濾器的主要作用是除去水中的懸浮物。 濾料一般為石英砂、煤及活性炭。

2、RO系統：

　　反滲透除鹽原理，就是在有鹽分的水中（如原水），施以比自然滲透壓力更大的壓力，使滲透向相反方向進行，把原水中的水分子壓力到膜的另一邊，變成純凈的水，從而達到除去水中雜質、鹽分的目的。

　　此系統由RO主機泵、RO系統膜組，經由壓力控制處理流經水質，經處理后的水存儲入純水箱。

3、EDI系統： 

　　EDI是一種具有革命性意義的水處理技術，它巧妙地將電滲析技術和離子交換技術相融 合，無需酸堿及樹脂耗材，而能連續制取高品質純水，它具有技術*、操作簡便、良好的環保性，代表著水處理的一種方向，已廣泛應用于電力、醫藥、化工、光學、電子等眾多行業。EDI系統是本項目中的核心部分。

4、拋光系統：

    拋光罐中裝入拋光樹脂，以除去水中剩余的離子，超純水經過拋光系統處理后，水質可達18兆以上。