微流控芯片光刻機(jī)專業(yè)為微流控芯片制作而設(shè)計(jì)，用于刻畫(huà)制作微結(jié)構(gòu)表面，全自動(dòng)化和可編程操作，適合幾乎所有常用材料。
微流控芯片光刻機(jī)采用多功能一體化設(shè)計(jì)理念，一臺(tái)光刻機(jī)具有六個(gè)傳統(tǒng)單一的表面刻劃?rùn)C(jī)器的功能，而且不需要無(wú)塵環(huán)境，用戶安裝使用不再需要單獨(dú)建設(shè)超凈間，從而大大提高用戶的使用經(jīng)濟(jì)性和方便性。
微流控芯片光刻機(jī)特色
可以根據(jù)用戶的芯片襯底基片尺寸，形狀和厚度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
是一種無(wú)掩模光刻系統(tǒng)，具有兩個(gè)易操作的軟件，用戶可以創(chuàng)建個(gè)人微結(jié)構(gòu)圖案，從單個(gè)微通道到復(fù)雜的微觀結(jié)構(gòu)都可以創(chuàng)建。
具有技術(shù)突破性設(shè)計(jì)和靈活性優(yōu)勢(shì)，非常適合加工微納結(jié)構(gòu)用于MEMS，BioMEMS，微流控系統(tǒng)，傳感器，光學(xué)元件，MicroPatterning微圖案化，實(shí)驗(yàn)室單芯片，CMOS傳感器和所有其他需要微結(jié)構(gòu)的應(yīng)用。
無(wú)掩模光刻系統(tǒng)可以快速而輕松地做出許多種微圖案結(jié)構(gòu)，從zui簡(jiǎn)單到非常復(fù)雜的都可以。它的寫入磁頭裝備有一個(gè)激光二極管（波長(zhǎng)405納米- 50毫瓦），光學(xué)掃描器和F-θ透鏡（405納米）。激光束根據(jù)設(shè)定微結(jié)構(gòu)圖案而運(yùn)動(dòng)。
為了方便使用，較好的再現(xiàn)性和較高的質(zhì)量，焦距是可以根據(jù)基片厚度進(jìn)行調(diào)節(jié)的。圖像采集期間可以使用控制面板調(diào)節(jié)焦距。幾個(gè)基片厚度都可以使用。 編程參數(shù)被保存以供以后使用，修改或其他用戶使用。