德國Freiberg Instruments 電阻率測試儀（RESmap ）在對低電阻率晶錠和晶圓進行非接觸式測量方式上擁有非常重要的重復性 Si | Ge | 化合物半導體 | 寬帶隙 | 材料 | 金屬 | 導電 | 氧化物和氮化物[ Ge | Si | SiC | InP | GaAs | GaN | InAs以及更多]

詳細介紹

在對低電阻率晶錠和晶圓進行非接觸式測量方式上擁有非常重要的重復性Si | Ge | 化合物半導體 | 寬帶隙 | 材料 | 金屬 | 導電 | 氧化物和氮化物[ Ge | Si | SiC | InP | GaAs | GaN | InAs以及更多]

特征：

電阻率的非接觸式測量和成像	高頻渦流傳感原理與集成紅外溫度傳感器可校正樣品的溫度變化
信號靈敏度	基于線圈頻率讀數（正在申請）的高信號靈敏度，可實現準確可靠的電阻率測量，并具有高再現性和可重復性
測量時間	測量時間 < 3 s，測量之間時間 < 1 s
測量速度	200 mm 晶圓/晶錠 < 30 s，9個點
多點測量及測繪顯示	不超過9999個點
材料外形尺寸	平坦或略微彎曲的晶圓、晶錠、錠板、毛坯和薄膜
X-Y位置分辨率	≥ 0.1mm
邊緣扣除	5 mm
可靠性	模塊化、緊湊的臺式儀器設計，可靠性高，正常運行時間 > 99%
電阻率測量的重復性	≤ 0.15%，基于使用ANOVA Gage R&R方法對材料系統分析（MSA）

更多技術規格和配置選項:

為自動化流程做準備	可用于不同的平臺
測量方法符合	SEMI MF673標準
數據及數據有效性檢查	使用NIST標準
校準精度	±1%
集成紅外溫度傳感器（±0.1°）	允許報告標準溫度下的電阻率，（與樣品的實際溫度不同）
樣品厚度校準	對于高頻信號穿透深度大于穿透深度的樣品
電力要求	100-250 VAC, 5 A
尺寸	465 ′ 550 ′ 600 mm
軟件控制	配備Window10或新版本的標準PC，2個以太網端口