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Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀

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Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀

主要里程碑：

◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞瑟·布拉達切克和他的兒子漢斯·布拉達切克創立。

◆ 1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測計數裝置，名為 COUNTIX 130。

◆ 1989 - 開發 Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統 - 振蕩器產量從 50% 提高到 95%

◆ 2005 - 將 Omega 轉移到其他材料，如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金

◆ 2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線衍射儀 ( DDCOM )

售出約 150臺石英分選系統

◆ 2015 - X 射線技術和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH

傳承60年德國工匠精神-三代X射線工程師

晶錠XRD的特點：

◇ 精度高

◇ 測量速度快： < 5秒/樣品

◇ 典型的標準偏差傾斜度（例如：Si 100）：< 0.003 °，極小< 0.001 °。

◇ 晶錠的自動對準

◇ 膠片的自動定位

◇ 光學測量晶錠和/或研磨原錠的幾何特征（平邊Flat、凹槽Notch位置）

◇ 晶錠的自動標記

◇ 易于集成到工藝線中（手動或機器人裝載）。

◇ 數據矩陣代碼（DMC）閱讀器

◇ MES接口；SECS/GEM或類似接口

◇ 直徑達300毫米，長度達520毫米的晶錠

Ingot XRD prepared for manual loading

關鍵詞：振蕩器

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