少子壽命測試儀µPCD/MDP (MDPpro 850+)

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更新時間：2024-04-02 17:34:29瀏覽次數：117次

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束蘊儀器（上海）有限公司

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產品簡介

用于單晶硅錠、硅磚和硅晶圓片的生產和質量監控。用于HJT、HIT、TOPcon、雙面PERC、PERC+太陽能電池、鈣鈦礦等中的硅材料。

詳細介紹

MDPpro 850+

用于單晶硅錠、硅磚和硅晶圓片的生產和質量監控。用于HJT、HIT、TOPcon、雙面PERC、PERC+太陽能電池、鈣鈦礦等中的硅材料。

特點：

◇ 壽命范圍：20 ns至100 ms（樣品電阻率 > 0.3 Ohm cm）

◇ SEMI標準：PV9-1110

◇ 測試速度：線掃描 < 30 s；完整的面掃秒 < 5 min

◇ 同時測量：壽命μPCD/MDP（QSS）和電阻率

◇ 自動幾何形狀識別： G12、M10晶磚和晶圓片

應用 :

◇ 壽命 & 電阻率面掃描

◇ 晶體生長監控（即滑移線）

◇ 污染監測

◇ 氧條紋/OSF環

◇ P 型摻雜硅的鐵面掃描圖

◇ 光束感應電流（LBIC）

◇ 發射極層的方阻

◇ 更多…

技術規格 :

材料	單晶硅
晶錠尺寸	125 x 125至210 x 210 mm²，晶磚長850 mm或更長
晶圓尺寸	直徑可達300 mm
電阻率范圍	0.5 – 5 ohm cm。根據要求提供其他范圍
導電類別	p/n
可測量的參數	壽命-μPCD/MDP（QSS）、光電導率、電阻率等
默認激光器	IR激光二極管（980 nm，不超過500 mW）和IR激光二極管（905 nm，不超過9000 mW）。可根據要求提供其他波長
電腦	Windows 11或新版本、.NET Framework更新、2個以太網端口
電力要求	100 – 250 V AC, 6 A
尺寸（寬高長）	2560 × 1910 × 1440 mm
重量	約200 kg
認證	根據ISO 9001準則制造，符合CE要求