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MDPpro 晶圓片晶錠壽命檢測儀

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產品型號
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0
所在地
上海市

規格

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更新時間：2020-08-21 16:32:07瀏覽次數：629次

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產品簡介

加工定制	否

MDPpro 晶圓片晶錠壽命檢測儀用于常規質量控制、精密材料研發的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量

詳細介紹

Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifetime measurement device

MDPpro 晶圓片晶錠壽命檢測儀

應用范圍：MDPpro 晶圓片晶錠壽命檢測儀用于常規質量控制、精密材料研發的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量

根據SEMI標準PV9-1110的非接觸式和無損成像(μPCD / MDP(QSS))、光電導性、電阻率和p/n檢查。

晶圓切割，爐內監控，材料優化等。

日常壽命測量，質量控制和檢驗

◆產量：>240塊/天或>720片/天
◆測量速度：對于156x156x400mm標準晶錠，<4分鐘
◆生產改善：1mm切割標準為156x156x400mm標準晶錠
◆質量控制：用于過程和材料的質量監控，如單晶硅或多晶硅
◆污染測定：起源于爐和設備的金屬(Fe)
◆可靠性：模塊化和堅固耐用的工業儀器，更高的可靠性和運行時間> 99%
◆可重復性:> 99.5%
◆電阻率：不需要經常校準