電感耦合光譜儀主要用于液體樣品中金屬元素和一些非金屬元素的定量分析。將樣品溶液以氣溶膠的形式引入等離子體炬焰中，蒸發并激發樣品以發射所含元素的特征波長的光。
在光被分光系統分光后，其譜線的強度被光電元件接收并轉換成電信號，并被記錄。根據元素濃度和譜線強度之間的關系，確定樣品中每個對應元素的含量。
電感耦合光譜儀工作原理
高頻振蕩器產生的高頻電流，通過耦合系統連接到等離子體發生器管上端的銅內水冷管狀線圈。在石英制成的等離子管中，有三個同軸的氫流過通道。冷卻氣體(Ar)通過外部和中間通道圍繞等離子體，以穩定等離子體炬并冷卻石英管壁，防止管壁因熱而熔化。
原理介紹：高頻振蕩器產生的高頻電流連接到位于等離子體發生器管上端的管狀線圈，并通過耦合系統由銅內部的水冷卻。
在石英制成的等離子管中，有三個同軸的氬氣流過通道。冷卻氣體(Ar)通過外部和中間通道圍繞等離子體，以穩定等離子體炬并冷卻石英管壁，防止管壁因熱而熔化。工作氣體(Ar)從在中間的石英管引入。開始工作時，啟動高壓放電裝置以電離工作氣體。
當電離氣體通過石英管頂部周圍的高頻感應線圈時，線圈產生的巨大熱能和交變磁場使電離氣體基態的電子、離子和氖原子反復劇烈碰撞，各種粒子高速運動，這導致氣體電離，形成線圈狀等離子炬區域，溫度高達6000-10000℃。
樣品處理成溶液后，從超霧化裝置轉化為全溶膠，從底部引入管中，然后通過軸向石英管從噴嘴噴射到等離子炬中。當樣品氣溶膠進入等離子體火焰時，大部分立即分解為激發的原子態和離子態。
當這些被激發的粒子恢復到穩定的基態時，它們應該發射一定量的能量(表示為特定波長的光譜)，并測量每個元素的特定譜線和強度。與標準溶液相比，我們可以知道樣品中所含元素的類型和含量。
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