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上海群弘儀器設備有限公司
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化學機械磨拋機 雙工位

參   考   價: 99500

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號UNIPOL-1203

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地上海市

更新時間:2022-07-22 10:47:27瀏覽次數:386次

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UNIPOL-1203化學機械磨拋機 雙工位,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術, 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。

UNIPOL-1203化學機械磨拋機 雙工位主要特點:

1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。
2、超精旋轉軸(托盤端跳小于0.01mm)。
3、設有兩個加工工位,可分別進行控制。
4、配有全自動控制觸摸屏面板,可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。
5、配置自動滴料器,流量速率可視化調整,自動研磨和拋光。
6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調節壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕。

技術參數:


產品名稱      
UNIPOL-1203化學機械磨拋機
產品型號      
UNIPOL-1203
安裝條件      
本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設備配有上水口及下水口,需自行連接自來水及排水
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:無
4、工作臺:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通風裝置:不需要
主要參數      
主機部分
1、電源:220V
2、功率:450W
3、磨拋盤轉速:10-240rpm
4、磨拋工位:2個
5、擺臂調節檔位:1-15檔
6、托盤端跳:0.008/250mm
7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm
8、載樣盤:φ105mm
9、修盤環:φ127.5mm
GPC-100A精密磨拋控制儀
1、載樣盤直徑:?103mm
2、載樣盤軸向行程:12mm
3、數顯表精度:0.001mm
4、載樣盤可調加載壓力: 0.1kg-2.1kg
5、壓力確認儀有效量程:1g-5000g
6、樣品裝卡方式:真空吸附
7、承載樣件尺寸:直徑≤103mm、 厚度≤12mm
8、尺寸:外徑146mm,高266mm
自動滴料器
SKZD-2滾筒滴料器
1、容積:1.5L
2、流量:0-35ml/min
3、尺寸:170×290×350mm;
     重量:3kg
SKZD-4自動滴料器
1、加液泵:4個
2、料液瓶:600ml/瓶
3、計時范圍:1-999min
4、流量:0.1ml/min-10ml/min
5、尺寸:230×370×450mm;
     重量:10kg
產品規格      

1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm
2、重量:74Kg

UNIPOL-1203化學機械磨拋機 雙工位標準配置:


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