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日立掃描電子顯微鏡

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  • 型號 S?-3400N
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  • 廠商性質 經銷商
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更新時間:2024-04-07 14:18:47瀏覽次數:104

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產品簡介

日立掃描電子顯微鏡S?-3400N型具有開發的電子光學系統,強大的自動化功能,操作更簡易。

詳細介紹

日立掃描電子顯微鏡S­-3400N型具有開發的電子光學系統,強大的自動化功能,操作更簡易。
一、日立掃描電子顯微鏡S­-3400N型的特點
1. S-3400N具有強大的自動功能,包括自動燈絲飽和、4偏壓、自動槍對中、自動束流設定、自動合軸自動聚焦和消像散、自動亮度對比度等。
2. 在3kV低加速電壓時保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達臺,傾斜角度可達-20度~+90度,樣品可達80mm。
5. 分析樣品倉可以同時安裝EDX , WDX 及EBSD。
6. 真空系統使用渦輪分子泵,潔凈、高效。

二、日立掃描電子顯微鏡S­-3400N型的技術指標

項目

描述

SE分辨率

3.0nm (30kV),高真空模式
10nm (3kV), 高真空模式

BSE分辨率

4.0nm (30kV),低真空模式

放大倍率

x5 ~ x300,000

加速電壓

0.3 ~ 30 kV

低真空 圍

6 ~ 270 Pa

樣品尺寸

直徑200mm

樣品臺

I型

II型

X

0 ~ 80mm

0 ~ 100mm

Y

0 ~ 40mm

0 ~ 50mm

Z

5 ~ 35mm

5 ~ 65mm

R

360º

360º

T

-20º~ +90º

-20º ~ +90º

樣品高度

35mm (WD=10mm)

80mm (WD=10mm)

驅動類型

手動

五軸馬達驅動

燈絲

預對中鎢燈絲

物鏡光欄

可移動式4孔物鏡光欄

槍偏壓

固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏

檢測器

二次電子檢測器
高靈敏度半導體背散射電子檢測器

分析位置

WD=10mm, TOA=35o

控制

鼠標、鍵盤,手動旋鈕

自動調校

自動燈絲飽和、自動4偏壓、自動槍對中、自動束流設定、自動合軸、自動聚焦消像散、自動亮度對比度

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