GAIA3的突出特點(diǎn)

·單極60°電磁物鏡設(shè)計(jì)，的SEM分辨率

·的多種成像模式—大視場模式，分辨率模式以及景深模式—這些功能都基于TESCAN的大視場光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

·馬達(dá)控制的精準(zhǔn)樣品臺(tái)，可進(jìn)行精確的移動(dòng)或傾轉(zhuǎn)操作

·Field-free模式下可對(duì)磁性樣品進(jìn)行有效觀察

·高達(dá)200nA的束流強(qiáng)度

·停留時(shí)間低至20ns的快速電子束刻蝕速度

·FIB的Cobra光學(xué)系統(tǒng)，確保聚焦離子束的分辨率和優(yōu)異的性能，離子束流為1pA到50nA

·強(qiáng)大的DrawBeam軟件包，包含許多可編程設(shè)計(jì)模塊（基礎(chǔ)版和高級(jí)版）來實(shí)現(xiàn)掃描及制樣等過程中可調(diào)參數(shù)的多樣化

·不僅具有對(duì)樣品表面進(jìn)行修飾和觀察的多種功能，的空間設(shè)計(jì)還能夠使電鏡通過接口兼容多種探測設(shè)備與技術(shù)手段，且還能保持一致的分析工作距離