分析潛力

• XM樣品室配備有5軸馬達(dá)驅(qū)動的全計算機(jī)化優(yōu)中心樣品臺，的幾何設(shè)計更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）
• 優(yōu)化幾何設(shè)計的許多接口，更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）和其他探頭
• YAG閃爍器式探頭
• 可選各種探頭和配件
• 在渦輪分子泵和無油干式泵的工作下，幾分鐘就可以達(dá)到儀器工作需要的真空，電子槍的真空度由離子泵保持
• 在低真空模式下可以觀測不導(dǎo)電的樣品，觀測磁性樣品的效果非常好
• 可選樣品室大小與鏡筒防振方式

MIRA3配置

MIRA3 XMH
大樣品室高真空式電鏡，配備有可選的馬達(dá)驅(qū)動樣品臺，適合觀測導(dǎo)電的樣品。

MIRA3 XMU
可變真空式SEM，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點。在低真空模式下可以觀測不導(dǎo)電的樣品，不需要噴金。