環保在線
詳細介紹
分析潛力
- SB型號樣品室裝有3軸馬達驅動的樣品臺
- YAG 閃爍體探測器
- 樣品室有10個接口可用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探測器
- 可選配其他探測器和附件
- 渦輪分子泵和機械泵同時工作幾分鐘可達到儀器操作需要的真空狀態
- 在可變真空模式下可觀察非導電的樣品（SBU型號）
- 利用3 D Metrology軟件可以實現3維重構及測量功能
VEGA3配置
VEGA3 SBH
高真空型SEM，配備有3軸馬達驅動樣品臺，適用于觀察小型導電樣品。
VEGA3 SBU
可變真空型掃描電鏡，體現了高真空模式和低真空模式的優點，可以在不噴金的情況下利用低真空模式直接觀察不導電樣品。
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