特點(diǎn)：

• SB型號(hào)樣品室裝有3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的樣品臺(tái)
• YAG閃爍體探測(cè)器
• 樣品室有10個(gè)接口可用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探測(cè)器
• 可選配其他探測(cè)器和附件
• 渦輪分子泵和機(jī)械泵同時(shí)工作幾分鐘可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài)
• 在可變真空模式下可觀察非導(dǎo)電的樣品（SBU型號(hào)）
• 利用3D Metrology軟件可以實(shí)現(xiàn)3維重構(gòu)及測(cè)量功能

VEGA3 SB-Easyprobe配置

VEGA3 SBH-Easyprobe

高真空型SEM，配備有3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，適用于觀察小型導(dǎo)電樣品。同時(shí)可完成元素分析。

VEGA3 SBU-Easyprobe

可變真空型掃描電鏡，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)，可以在不噴金的情況下利用低真空模式直接觀察不導(dǎo)電樣品。同時(shí)可完成能譜分析。