環保在線
詳細介紹
分析潛力：
- LM大樣品室、5軸馬達驅動樣品臺
- 樣品室有11個接口，適用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探頭
- YAG 閃爍體探頭
- 選配包括了各種探頭于可選的配件
- 渦輪分子泵和機械泵同時工作，幾分鐘可達到儀器操作需要的真空狀態
- 在可變真空模式下可觀測不導電的樣品（LMU型號）
- 可選的樣品室減振方式
- 3維Metrology軟件提供了三圍重構與3維測量功能
VEGA3配置
VEGA3 LMH
高真空式SEM，配備有5軸馬達驅動樣品臺，適用于觀測小型導電樣品。
VEGA3 LMU
可變真空式SEM，體現了高真空模式和低真空模式的優點。在低真空模式下可以觀測非導電樣品，不需要噴金。
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