主要特點(diǎn)

TriglavTM-新設(shè)計(jì)的超高分辨（UHR）電子鏡筒配置了TriglavTM物鏡和的探測(cè)系統(tǒng)

• 以的方式結(jié)合了三透鏡物鏡和crossover-free模式
• 的且可隨意變化的探測(cè)系統(tǒng)可用于同步獲取不同的信號(hào)
• 超高的納米分辨率：15keV下0.7nm，1keV下1nm
• 極限超高分辨率：1keV下1nm
• 可變角度的BSE探測(cè)器，化了低能量下能量反差
• 實(shí)時(shí)電子束追蹤(In-flight Beam TracingTM）實(shí)現(xiàn)了電子束的化
• 傳統(tǒng)的TESCAN大視野光路（Wide Field OpticalTM）設(shè)計(jì)提供了不同的工作和顯示模式
• 有效減少熱能損耗，的電子鏡筒的穩(wěn)定性
• 新款的肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍現(xiàn)在能實(shí)現(xiàn)電子束電流達(dá)到400nA，且電子束能量可快速的改變
• 為失效分析檢測(cè)過程中的節(jié)點(diǎn)提供了的解決方案
• 適合精巧的生物樣品成像
• 可觀察磁性樣品
• 優(yōu)化的鏡筒幾何學(xué)配置使得8’’晶元觀察成為可能（SEM觀察和FIB納米加工）
• 的實(shí)時(shí)三維立體成像，使用了三維電子束技術(shù)
• 友好的，成熟的SW模塊和自動(dòng)化程序