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詳細介紹
日本KOSAKA臺階儀ET200介紹
日本KOSAKA臺階儀ET200基于Windows XP操作系統為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET200 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。
ET200配備了各種型探針，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態，更方便準確的定位測試區域。
日本KOSAKA臺階儀ET200產品特點
二次元表面解析，可測量段差
高精度、高分辨率和良好的再現性
FPD面板顯示，可測定微細表面形狀、段差、粗度等
低測定力，可測定軟質材料
日本KOSAKA臺階儀ET200技術參數
| 型號 | ET200 | |
| 樣品尺寸 | φ160x48mm | |
| 樣品臺 | 尺寸 | φ160 |
| 傾斜度 | ±2°（X,Y手動） | |
| 承重 | 2Kg | |
| 檢出器 | 觸針力 | 10μN-500μN（1mg-50mg） |
| 范圍 | 600μm（0.1nm分辨率） | |
| 驅動 | 直動式（差動變壓器） | |
| 觸針 | R2μm 頂角60° | |
| X軸 | 測長 | 100mm |
| 直線度 | 0.02μm/100mm | |
| 速度 | 0.005-20mm/s | |
| 重復性 | ±5μm（定位） | |
| Y軸 | 測長 | 25mm/手動 |
| Z軸 | 測長 | 50mm |
| 放大倍數 | 垂直 | 50-2000000 |
| 水平 | 1-10000 | |
| 監控系統 | 攝像裝置 | 1/3 inch CCD |
| 監視裝置 | 視頻捕捉板 | |
| 移動方法 | 手動 | |
| 輔助功能 | 教學、機動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等 | |
| 應用 | 成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度 | |
| 重復性 | 1σ1nm | |
| 電源 | AC90-240V 50/60Hz 300VA | |
| 外觀尺寸 | W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震臺） | |
日本KOSOKA臺階儀ET200主要應用—膜厚測量
前制程機臺（如曝光機、濺鍍機、蝕刻機）best recipe 找尋。例如：PVD、CVD、DLC真空濺鍍薄膜臺階、應力測試及軟質光阻材料等薄膜臺階測量。
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