Nolay10硅中氧碳含量測定儀
單晶硅材料可以用于制造太陽能電池、半導體器件等,由于其應用領域的特殊性要求其純度達到99.9999% 甚至更高。在單晶硅生產過程中由原料及方法等因素難以避免的引入了碳、氧等雜質,直接影響了單晶硅的性能。因而需對單晶硅材料中的氧碳含量進行控制。
依據G B/T 1558-2009和G B/T 1557-2006,紅外光譜法可以在對單晶硅中代位碳和間隙氧進行定性的同時進行定量測定,具有快速、方便、準確的優點。
原理
利用硅中代位碳原子和間隙氧原子分別在波數607.2cm -1和1107cm -1 有特征吸收,根據吸收峰的吸收系數來確定代位碳原子濃度和間隙氧原子的濃度。
Nolay10硅中氧碳含量測定儀規格參數
光譜范圍:7800~350 cm-1
分辨率:優于1.0 cm-1
波數精度:≤0.01cm-1
信噪比:優于15000:1/優于30000:1(P-P值,4cm-1,一分鐘掃描) 可選
分束器:KBr基片鍍鍺(進口)
光源:高能量、高效率、長壽命陶瓷光源(進口)
干涉儀:30度入射角Michelson干涉儀
接收器:帶有防潮膜的高靈敏度DLATGS接收器(進口)
數據傳輸接口:USB2.0(兼容3.0)
支持系統:Windows XP、Windows Vista、Windows 7、Windows 8、Windows 8.1、Windows 10
尺寸:450mm×350mm×235 mm
重量:14Kg