ST-21L型方塊電阻測試儀是一種依照類似的國家標(biāo)準(zhǔn)和美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)，專門測量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器，可用于測量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜)，金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。

該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心；用基準(zhǔn)電源和運(yùn)算放大器組成高精度穩(wěn)流源；帶回路有效正常指示電路；并配以大型LCD顯示讀數(shù)，使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點(diǎn)。

ST-21L型方塊電阻測試儀測量范圍

按方塊電阻量值大小分為二個量程檔：
1.方塊電阻 1.00～19.999Ω/□；
2.方塊電阻 10.0～199.99Ω/□；
小分辨率：0.001Ω/□

橫流源：測量過程誤差：≤±0.8%

模擬轉(zhuǎn)換器：量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動顯示；小數(shù)點(diǎn)同步顯示；

測量不確定度：在整個量程范圍內(nèi)，測量不確定度≤5%

四探針探頭規(guī)格：間距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ

電源使用一節(jié)450mAH的鋰電池