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沈陽科晶自動化設備有限公司
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小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP
產品簡介：小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4"石英管和真空法蘭，是專為半導體或太陽能電池基片（3"）的退火而設計。本機采用10KW紅外燈管加熱，升溫速度為 50℃/s，設有30段溫度控制，精度為±1℃。此外，通過RS485口和控制軟件可在計算機上實現實時控制和溫度曲線顯示。
小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP視頻 控溫儀表操作視頻
RTP升溫速率演示視頻 直接升溫曲線 分段升溫曲線
| 產品型號 | 小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP | ||
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設備需配有自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC220V 50Hz（35A空氣開關），必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭） 4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風裝置：需要 | ||
| 主要特點 | 1、內爐膛表面涂有進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高設備的加熱效率，同時可延長其使用壽命。 2、石英樣品架固定在滑動法蘭上，使樣品裝載更加容易。 3、樣品架上放置76mm（3"）的AlN基片，承載需要退火的樣品。AIN具有很高的熱導率，可使樣品放置的區域有很好的溫度均勻性（±5℃）。 4、內插式熱偶保證了溫度的準確性。 5、采用PID自動溫度控制，30段程序，并設有過熱和斷偶保護功能及自整定功能。 6、已通過CE認證。所有電器元件（>24V）都通過了UL/MET/CAS認證。若用戶自行承擔認證費用，本司保證單臺設備通過德國TUV認證和CAS認證。 7、可增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE爐（快速熱蒸發爐）。 | ||
| 技術參數 |
1、電源：208V-240V AC，50Hz/60Hz單相，功率9KW（>60A保險） 2、爐體結構：雙層莫來石鋼構（不帶水冷或風冷） 3、石英管：外徑Ø110mm，內徑Ø103mm，長380mm 4、樣品架：76mm 5、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長200mm，絲圈Ø10mm，燈長300mm 6、恒溫區：102mm×305mm，均勻性±5℃ 7、熱偶：K型熱偶 8、溫度：溫度1100℃，額定溫度1000℃（警告：在1000℃-1100℃下保溫時間不超過600s，否則O型圈將被燒融） 9、控溫精度：±1℃ 10、升溫速度：RT-800℃內50℃/s，800℃-1000℃內10℃/s 11、降溫速度：60℃/min（在200mtorr下），117℃/min（在一個大氣壓下） 12、真空度：50mtorr（機械泵），10-4torr（分子泵） 13、真空法蘭： 帶有KF-D25高真空不銹鋼法蘭，配有兩個高溫O型圈密封 14、流量計：16ml/min-160ml/min 15、真空計：數字真空計，測量范圍10mtorr-800torr（注意：此表在氮氣下校準的，只有在氮氣和空氣下表上顯示的實際壓力，當通入任何其他氣體時，必須參考說明書中的相對氣體對照表，否則后果會嚴重） 16、水冷：如要求通冷卻水，請確定冷卻水流速3L/min、水溫20℃、水壓25PSI（建議采用循環水制冷器作為冷卻系統） | ||
| 產品規格 | 尺寸：760mm×330mm×530mm；重量：45kg | ||
| 標準配件 | 1 | AIN基片 | 1片 |
| 2 | 石英樣品架 | 1個 | |
| 3 | 石英管 | 1根 | |
| 4 | 石英擋板 | 4片 | |
| 5 | 紅外燈管 | 8根 | |
| 6 | 真空法蘭 | 1套 | |
| 7 | KF-D25快接 | 2套 | |
| 8 | 數字真空計 | 1個 | |
| 9 | 高溫手套 | 1雙 | |
| 10 | 高溫硅膠圈 | 6個 | |
| 11 | 聚氨酯水管（外徑Ø12mm、內徑Ø8mm） | 1根 | |
| 12 | 水管接頭 | 2個 | |
| 13 | 3A保險 | 2個 | |
| 14 | 4A保險 | 2個 | |
| 可選配件 | 1、真空泵 2、波紋管（KF-D25接口）（1m） 3、KF-D25快接 4、防腐型數字式真空顯示計（測量范圍3.8×10-5torr-1125torr，不需要因測量氣體的種類不同而進行系數轉換） 5、RS485串口和控溫軟件 | ||
| 注意事項 | 1、爐管內氣壓不可高于0.02MPa。 2、由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。（建議選購本司的減壓閥，量程為0.01MPa-0.1MPa，更加精確安全） 3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態。 4、進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 5、石英管的長時間使用溫度<1100℃。 6、對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數。若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立即打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂、法蘭飛出等）。 | ||
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