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沈陽科晶自動化設備有限公司


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1100℃雙管三溫區管式爐(石墨烯生長)GSL-1100X-III-D11-8

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更新時間:2023-05-07 12:23:38瀏覽次數:127次

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經營模式:經銷商

商鋪產品:980條

所在地區:遼寧沈陽市

聯系人:金 (經理)

產品簡介

1100℃雙管三溫區管式爐(石墨烯生長)GSL-1100X-III-D11-8

詳細介紹

產品簡介:1100℃雙管三溫區管式爐(石墨烯生長)GSL-1100X-III-D11-8外爐管直徑達到11",內管直徑8.5",在加熱管一端裝有一對高真空不銹鋼法蘭,法蘭上配有機械壓力表和閥門,三個溫區都采用30段可編程數字控溫器,并配有K型熱電偶進行測溫,專門針對于在金屬箔上生長薄膜物質。

 

 

 

產品型號

1100℃雙管三溫區管式爐(石墨烯生長)GSL-1100X-III-D11-8

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關),必須有良好接地

3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)

4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1、雙層殼體,配有風冷系統,殼體溫度<70℃。內爐膛采用高純度氧化鋁材料,可以的減少能量的損

2采用不銹鋼真空密封法蘭,使用硅膠密封圈進行密封

3采用三個PID控制器,可以設置30段升降溫程序。

4、加熱前需將石英管堵放入爐管,防止熱量以熱輻射的形式散失。

5、使用內管進行薄膜生長可放置8"基片。

6、已通過CE認證。

技術參數

1電源:單相AC 220V  50Hz/60Hz   8KW(需50A的空氣開關)

2、石英管:外管外徑Ø279mm,內徑Ø269mm,長1300mm,兩端打開,可連接法蘭

內管外徑Ø216mm,內徑Ø206mm,長750mm,一端封閉,一端連接氣體出入口

3、加熱元件:NiCrAl電阻絲

4、加熱區域:長900mm

5、溫區:3個,各300mm

6恒溫區域500mm(三個溫區設置一樣的溫度)

7、工作溫度:1100℃(<1h連續工作200-1000

8、升降溫速率:10/min

9熱電偶:3個,K

10、控溫精度:±1

11、真空度:10-2torr(機械泵)

12法蘭:左側法蘭包括化學氣相淀積進氣口和冷卻氣體進出口,右側法蘭設有KF-40真空接口和真空閥門

產品規格

尺寸:不包含真空法蘭1300mm×623mm×940mm,包含真空法蘭1670mm×623mm×940mm

重量:200kg

可選配件

1石英管堵

2PC控溫軟件

3KF-40KF-25接頭


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