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沈陽科晶自動化設備有限公司
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SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長爐
產品簡介：SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長爐是一款采用4電弧的提拉法單晶生長爐（采用Ar氣電弧對樣品熔融，提拉裝置提拉），其溫度可達3000℃。腔體為304不銹鋼腔體（帶有水冷夾層），真空度可達10-5Torr.此款單晶爐特別適合生長高熔點的單晶，如Ti單晶，YSZ，SiC和CeRh2Si等等。
| 產品名稱 | SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長爐 | |
| 技術參數 | 腔體 | 1、采用304不銹鋼腔體，帶有水冷夾層，可通入冷卻水 2、腔體上安裝有石英窗口，以便觀察樣品 3、腔體真空度：10-5Torr（采用分子泵） 4、腔體尺寸：Φ257*360mm |
| 真空計 | 1、腔體上安裝有數顯防腐真空計和機械壓力表 | |
| 電弧槍 | 1、共有4個電弧槍，可讓樣品得到均勻的溫場（電弧槍都帶有冷卻水） 2、鎢電極直徑為Φ4mm 3、電弧腔體對樣品的角度和距離可手動調節 4、起弧電源： 18 V / 185 A 電壓380V 5、熔煉溫度可達3000℃ | |
| 樣品臺 | 1、采用水冷銅坩堝 2、可投如樣品量為60g(按鐵計算) | |
| 提拉機構 | 1、控制器控制提拉機構的提拉速度，轉速和轉速 2、提拉速度：0.2-10mm/h 3、提拉行程：0-70mm 4、轉速：0-40RPM | |
| 控制單元 | 1、可顯示和設置單晶生長的參數（起弧電流，提拉桿轉速，提拉行程和轉速） | |
| 真空泵 | 1、設備中配有一分子泵系統（機械泵+渦旋分子泵） 2、抽氣速率：100L/S 3、可使設備腔體的真空度達到10-5Torr(40分鐘內) | |
| 循環水冷機 | 1、功率：800W 2、水流速度：58L/min 3、制冷能力：5004W（17500Btu/hour） 4、溫度控制：5~30°C | |
| 產品規格 | 設備尺寸：800mm（L）*800mm（W）*1500mm(H) | |
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