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1700℃兩通道混氣高真空CVD系統GSL-1700X-4-C2HV

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更新時間：2020-12-18 16:59:32瀏覽次數：243次

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產品簡介

1700℃兩通道混氣高真空CVD系統GSL-1700X-4-C2HV

詳細介紹

產品簡介：1700℃兩通道混氣高真空CVD系統GSL-1700X-4-C2HV是由單溫區管式爐、兩路質子混氣系統和高真空機組組成工作溫度可達1600℃，混氣系統可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導入管式爐內部，本系統極限真空度可達10^-5 torr。

產品型號	1700℃兩通道混氣高真空CVD系統GSL-1700X-4-C2HV
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通風裝置：需要
主要特點	1、雙層殼體，配有風冷系統，殼體溫度<55℃。 2、采用高純氧化鋁纖維，有效減少熱量損失。 3、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和使用壽命。 4、采用PID控制器，可以設置30段升降溫程序。 5、已通過CE認證。
技術參數	管式爐 1、電源：單相AC 208V-240V 50Hz/60Hz 6KW 2、爐管：高純氧化鋁陶瓷管，外徑Ø100mm，內徑Ø92mm，長1000mm 3、加熱元件：1800℃硅鉬棒8根 4、加熱區域：457mm 5、恒溫區域：150mm 6、工作溫度：1650℃，連續工作1600℃ 7、大升溫速率：≤5℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、熱電偶：B型 10、不銹鋼真空法蘭：1對 11、機械壓力表：1個 12、針閥：2個 13、連接器：KF-25，1個 14、抽氣接口：KF-25轉KF-40 15、卡套接頭：1/4″
	高真空機組 1、電源：單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 100W-110W 2、真空泵：德國Pfeiffer真空泵 3、顯示屏：LCD數字顯示 4、抽氣速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s 5、工作范圍：1000mtorr-10^-7mtorr 6、極限：10^-8mtorr（無泄漏）
	質量流量混氣系統 1、電源：單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 18W 2、功率：18W 3、混氣箱：Φ80mm×120mm
產品規格	尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，高真空機組600mm×600mm×700mm，　　　質量流量混氣系統600mm×600mm×700mm