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高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成工作溫度可達(dá)1200℃，混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部，本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10^-5 torr。

產(chǎn)品型號(hào)	高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)	1、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<60℃。 2、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。 3、采用PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。 4、質(zhì)量流量系統(tǒng)采用316不銹鋼制作而成。 5、已通過(guò)CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)	管式爐 1、電源：AC 220V 50Hz/60Hz 2、石英管：外徑Ø80mm，內(nèi)徑Ø75mm，長(zhǎng)1000mm 3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲（表面涂有氧化鋯） 4、加熱區(qū)域：440mm 5、恒溫區(qū)域：150mm 6、工作溫度：1200℃，連續(xù)工作1100℃ 7、大升降溫速率：20℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、熱電偶：K型
	高真空機(jī)組 1、殼體：600mm×600mm×700mm，大承重275kg 2、真空泵：德國(guó)Pfeiffer真空泵 3、顯示屏：LCD數(shù)字顯示 4、抽氣速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s 5、工作范圍：1000mtorr-10^-7mtorr 6、極限：10^-8mtorr（無(wú)泄漏）
	質(zhì)量流量混氣系統(tǒng) 1、電源：?jiǎn)蜗?/span>AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率：18W 3、尺寸：600mm×600mm×700mm 4、混氣箱：Ø80mm×120mm