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沈陽科晶自動化設備有限公司


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PMS 橢偏在線監測裝備 紫外光譜儀

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更新時間:2022-10-05 09:41:30瀏覽次數:386次

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經營模式:經銷商

商鋪產品:980條

所在地區:遼寧沈陽市

聯系人:金 (經理)

產品簡介

PMS 橢偏在線監測裝備

詳細介紹

產品簡介:橢偏在線監測裝備針對LCD、OLED等新型平板顯示量光學薄膜質量控制需要,專門設計的在線薄膜測量系統。可適用于空氣、N2、真空等環境條件,自動實現玻璃基板上各種膜系結構厚度分布、光學常數分布的全片快速掃描測量。橢偏在線監測裝備廣泛應用于工業中新型光電器件行業所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機發光薄膜、有機/無機封裝薄膜大基片各種膜系結構厚度分布、光學常數分布的在線式全片快速掃描測量。

 

產品型號

PMS 橢偏在線監測裝備

主要特點

1、支持產線大基片自定義多點掃描測量并輸出報告

2、支持大193-2500nm全波段分析測量

3、支持多橢偏方案,多組合集成

4、支持測頭模塊以及樣件機臺定制化

技術參數

測頭規格

穆勒矩陣橢偏測頭

光譜橢偏測頭

反射膜厚測頭

自動化程度

可變/固定角+ mapping

可變/固定角+ mapping

垂直角+ mapping

應用定位

高階高精度型

高精度型

通用型

單次測量時間

0.5-5s

小于1s

分析光譜

380-1000m(支持擴展至193-2500nm)

380-1100nm

Mapping行程

支持行程定制化

支持樣件尺寸

安需定制化


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