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六源有機無機聯合蒸發鍍膜設備

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更新時間：2020-12-18 13:12:52瀏覽次數：314次

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產品簡介

六源有機無機聯合蒸發鍍膜設備

詳細介紹

六源有機無機聯合蒸發鍍膜設備適用于制備金屬單質薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產前的試驗工作。OPV系列真空蒸發鍍膜與手套箱聯合系統的用戶群體為科研院所及實驗室，將真空蒸發系統工作室置于Glove box無水、無氧、無塵的超純環境中，PVD與Glove box硬件無縫對接，操控融合一體，廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領域。

產品型號

六源有機無機聯合蒸發鍍膜設備

主要特點

1、樣品在鍍膜過程中，帶有烘烤加熱功能烘烤加熱溫度為：室溫～180℃，測溫控溫。

2、設備帶有斷水斷電連鎖保護報警裝置、防誤操作保護報警裝置。

技術參數

1、鍍膜室：鍍膜腔室尺寸約為600×450×450mm，不銹鋼材料，方形前后開門結構，內帶有防污板。
2、抽氣系統：采用分子泵+機械泵抽氣系統：
真空度：鍍膜室的極限真空≤6×10-4Pa；
系統漏率≤1×10-7PaL/s。

3、蒸發源系統：
   有機源蒸發源4個，容積5ml，2臺蒸發電源，可測溫控溫，加熱溫度400℃，功率0.5Kw；
   擋板：蒸發源擋板采用自動磁力控制方式，控制其開啟；
   安裝：蒸發源安裝在真空室的下底上。

4、樣品架系統：
樣品架可放置大小為Φ120mm的樣品，載玻片；

樣品架可旋轉，旋轉速度為：0～30轉/分；
安裝：樣品安裝在真空室的上蓋上，蒸發源安裝在真空室的下蓋上，向上蒸發鍍膜，蒸發源都帶有擋板裝置。

7、 5、無機蒸發源2套、容積5ml，2臺蒸發電源，加熱電流300A，功率3.2Kw；
8、 6、石英晶振膜厚控制儀：膜厚測量范圍0-999999Å。