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EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀

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更新時(shí)間：2020-01-26 18:33:21瀏覽次數(shù)：505次

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沈陽科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

加工定制	否

EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀體積小巧可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間，原理簡單，操作方便，尤其適合于實(shí)驗(yàn)室中薄膜制備過程的使用。

詳細(xì)介紹

EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理，結(jié)合*的頻率測量技術(shù)，進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中，用于對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測。膜厚監(jiān)測儀根據(jù)制備薄膜的實(shí)時(shí)速率可以輸出PWM（脈沖寬度調(diào)制）模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制，從而檢測所制備薄膜的厚度。膜厚監(jiān)測儀體積小巧可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間，原理簡單，操作方便，尤其適合于實(shí)驗(yàn)室中薄膜制備過程的使用。

EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀

主要特點(diǎn)

1、本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。

2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn)，可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。

3、通過軟件或顯示儀可對(duì)門控時(shí)間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置，并可將所測相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。

4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)參數(shù)

EQ-TM106-1監(jiān)測組件

1、電源：DC 5V（±10%），zui大電流400mA

2、頻率分辨率：±0.03Hz

3、膜厚分辨率：0.0136Å（鋁）

4、膜厚準(zhǔn)確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應(yīng)力，溫度和密度