ICP光譜儀組成及工作原理

ICP光譜儀是多元素順序測量的分析測試儀器。 該儀器由掃描分光器、射頻發生器、試樣引入系統、光電轉換、控制系統、數據處理系統、分析操作軟件組成。等離子體是在三重同心石英炬管中產生。炬管內分別以切向通入氬氣，炬管上部繞有紫銅負載線圈<內通冷卻水>當高頻發生器產生的高頻電流（工作頻率40MHz功率1.2KW左右）通過線圈時，其周圍產生交變磁場，使少量氬氣電離產生電子和離子，在磁場作用下加速運動與其它中性原子碰撞，產生更多的電子和離子，在炬管內形成渦流，在電火花作用下形成等離子炬（即等離子體），這種等離子體溫度可達10000K以上。待測水溶液經噴霧器形成氣溶膠進入石英炬管中心通道。原子在受到外界能量的作用下電離，但處于激發態的原子十分不穩定，從較高能級躍遷到基態時，將釋放出巨能量，這種能量是以一定波長的電磁波的形式輻射出去。不同元素產生不同的特征光譜。這些特征光譜通過透鏡射到分光器中的光柵上，計算通過控制步進電機轉動光柵,傳動機構將分光后的待測元素特征譜線光強準確定位于出口狹縫處，光電倍增管將該譜線光強轉變為電流，再經電路處理和V/F轉換后，由計算機進行數據處理，zui后由打印機打出分析結果。

二、ICP光譜儀技術指標

1.射頻發生器（RF）

(1) 電路類型：自激振蕩電路，全自動點火，所有功能實現電腦軟件控制(點火、熄火、功率等參數設置)；實時功率控制；自動匹配調諧；光室恒溫；

(2) 工作頻率：40.68MHZ±0.05%

(3) 頻率穩定性：<0.1%

(4) 輸出功率：700－1600w

(5) 輸出功率穩定性：≤0.3%

(6) 電磁場泄漏輻射強度：距機身300mm 電場強度E:<2V/m

2.進樣裝置:

(1) 輸出工作線圈內徑25mm，3匝

(2) 炬管：外徑20mm的石英炬管

(3) 同軸型噴霧器外徑6mm

(4) 雙筒形霧室外徑35mm

(5) 氬氣流量計規格和載氣壓力表規格：

①、 等離子體流量計（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min)

②、 輔助氣流量計（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)

③、 載氣流量計（6-60）L/h ；(0.1-1L/min)

④、 載氣穩壓閥（0-0.4MPa）

儀器內設氬氣二次穩壓閥（0.3MPa）

3.測光裝置:

(1) 光電倍增管規格： R212UH

(2) 光電倍增管負高壓：200-1000V ，穩定性<0.05%

(3) 光電倍增管電流測量范圍：10-12 -10-4A

(4) 信號采集為V/F交換：1mV對應100Hz

4.分光器:

(1) 光路: Czerny-Turner
(2) 焦距: 1000mm
(3) 光柵規格：離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線/mm，

刻線面積: 80×110mm，線色散率倒數：0.26nm
(4) 波長范圍：190-500nm
(5) 分辨率: ≤0.008nm
(6) 掃描波長范圍3600線/mm 掃描波長范圍：190-500nm
(7) 步進電機驅動zui步距：0.0006nm
(8) 入射狹縫：20µm 出射狹縫：25µm
(9) 發射鏡規格：（78 × 105 × 16）mm
(10) 透鏡ф30，1：1成像

?5.應用行業分類

1、金屬類

鋼鐵：包括碳素鋼、鑄鐵、合金鋼、高純鐵、鐵合金、硅鐵、錳鐵、釩 鐵、 鐵礦石，鉛的冶煉等。

2、有色金屬分析：

純銅，純鋁和合金中的雜質元素分析。

貴金屬的純度分析：Au、Ag、Pt、Pd、Ir、Rh、Os、Ru。

3、環境檢測類

水質分析：礦泉水、自來水、河水、海水、污水、廢水等。

食品分析：包括食品、飲料等。

土壤成份分析：生物和植物樣品的分析。

4、稀土材料和稀土永磁類

稀土元素全分離，此儀器高分辨率非常適合稀土元素的分析。

稀土永磁材料中對釹鐵硼材料的配分和成份的分析。

5、地質礦物的分析

精選礦的分析、普查找礦分析

6、食品醫藥分析

食品中有益、有害元素的分析、藥材中的微量元素分析

三、整機技術指標

1. 測量波長范圍：

180-500nm 3600L/mm光柵

180-800nm 2400 L/mm光柵

2.測量精度（重復性）：平均相對標準偏差RSD≤1%

3.測量穩定性：平均相對標準偏差RSD≤2

4.檢出下限：亞PPb級

四、安裝條件

1、儀器正常工作條件：實驗室內清潔、干燥、無灰塵、無振動。室溫保持 為22℃±3℃

2、房間：15平米左右為宜，配有標準溶液試劑柜，電腦桌、電腦椅，空調1.5 —2匹。

3、電源：220V，22A，使用4平方的電線。

4、接地：為了安全和儀器的穩定，必須有高頻接地，用300×300×3mm的紫銅 板埋于地下1.5米深處，用寬30×0.5mm的紫銅帶接到主機的機殼上。

5、排風：要求在主機上方安裝排風筒，外接煙囪并用排風扇將ICP燃燒后的廢 氣排到室外。

6、氬氣：可使用普通氬氣99.99%即可

五、保修：

北京中曄儀元科技有限將提供12個月的保修期, 自簽字驗收之日起計 算，但不超過發貨之日起15個月. 在保修期期內，北京中曄儀元科技有限公 司免費維修，由于非甲方人為因素造成儀器故障及損壞，即由乙方免費負責 解決(消耗品除外)；

六、ICP光譜儀售后服務：

在收到用戶的要求維修書面通知的3時內，北京中曄儀元科技有限 的技術人員做出響應如果需要趕赴用戶工作現場，技術人員將在收到 書面通知的2個工作日內到達用戶工作地。