超純水設備產品介紹

超純水設備用于光電材料生產、加工、清洗;LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、燈管顯像管、微電子工業、FPC/PCB線路板、電路板、大規模集成電路需用大量的純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度，對水質的要求也越嚴格，這也對超純水處理工藝及產品的簡易性、設備自動化、生產的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求。都應該使用多種純化技術相結合制取的純水，這樣才能大大提升純水的純度，符合用水需求。

工藝設計

1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 (≥18MΩ.CM)(傳統工藝)。

2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(新工藝)。

3、預處理→一級反滲透→加藥機(PH調節)→中間水箱→二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)(新工藝)。

4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(新工藝)。

5、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象 (≥15MΩ.CM)(傳統工藝)。