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光學(xué)膜厚系統(tǒng)光譜儀 車(chē)載式X射線-熒光光譜儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) NanoCalc
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 所在地 上海市

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更新時(shí)間:2022-10-26 09:40:40瀏覽次數(shù):587

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

加工定制    
NanoCalc光學(xué)膜厚系統(tǒng)光譜儀1nm以上的金屬膜厚也能測(cè)量,只要不是*不透光的。對(duì)于已知的系統(tǒng),3層以內(nèi)的多層膜厚測(cè)量可以在不到一秒鐘時(shí)間內(nèi)完成。

詳細(xì)介紹

利用白光干涉測(cè)量法的原理,NanoCalc用一個(gè)寬波段的光源來(lái)測(cè)得不同波長(zhǎng)的反射數(shù)據(jù),由于反射率n和k隨膜厚的不同而變化,NanoCalc根據(jù)這一特性來(lái)進(jìn)行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc中,不同類(lèi)型材料的相應(yīng)參數(shù)通過(guò)不同的模型來(lái)描述,從而保證了不同類(lèi)型材料膜厚測(cè)量的準(zhǔn)確性。NanoCalc的膜厚測(cè)量范圍為1nm到1mm,只要待測(cè)材料有一定的透射或反射就能通過(guò)NanoCalc進(jìn)行膜厚測(cè)量,這些材料包括氧化物、氮化物和保護(hù)膜層等,通常這些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃燈。

光學(xué)膜厚系統(tǒng)光譜儀1nm以上的金屬膜厚也能測(cè)量,只要不是*不透光的。對(duì)于已知的系統(tǒng),3層以內(nèi)的多層膜厚測(cè)量可以在不到一秒鐘時(shí)間內(nèi)完成。

 通常擬合曲線和實(shí)際曲線由于干涉會(huì)引起一些差異,NanoCalc的算法充分考慮到了這一點(diǎn),從而可以在比較粗糙的表面進(jìn)行測(cè)量。

 光學(xué)膜厚系統(tǒng)光譜儀產(chǎn)品主要優(yōu)勢(shì)和特點(diǎn)

  • UV/VIS/NIR高分辨率的配置
  • 測(cè)量準(zhǔn)確度在1nm,精度在0.1nm
  • 可測(cè)量zui大10層薄膜
  • 膜厚測(cè)量zui小可至1nm,zui大可至1mm
  • 可測(cè)量zui小1nm厚的透明金屬層
  • 提供試驗(yàn)臺(tái)及附件用于復(fù)雜外形材料的測(cè)量
  • 對(duì)表面缺陷和光滑度不敏感
  • 龐大的材質(zhì)數(shù)據(jù)庫(kù),保證各種材料的精確測(cè)量

 

快      速:

每次測(cè)量只需輕點(diǎn)一下鼠標(biāo),測(cè)量結(jié)果立即呈現(xiàn)在顯示屏上,不到一秒鐘。應(yīng)用于在線模式下,可接受到采樣信號(hào)后,立即測(cè)量。

準(zhǔn)      確:

分辨率0.1nm,重復(fù)性0.3nm,準(zhǔn)確度優(yōu)于1%,并且還有數(shù)百種材料組成的龐大材料庫(kù),幫助您準(zhǔn)確分析您的薄膜。同時(shí)NanoCalc為光學(xué)測(cè)試系統(tǒng),無(wú)任何運(yùn)動(dòng)部件,不會(huì)由于多次測(cè)量產(chǎn)生回程誤差等機(jī)械運(yùn)動(dòng)誤差,可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。

無(wú)      損:

光學(xué)無(wú)損檢測(cè),無(wú)需像臺(tái)階儀、SEM等需破壞樣品進(jìn)行測(cè)量。

靈      活:

重量約為3.5kg,體積為180*150*263mm,USB連接方式,自適應(yīng)90-240V的電壓,攜帶方便,安裝簡(jiǎn)單,可任意放置于實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)線甚至辦公桌上使用。擁有多種特種配件,可適用如非平面測(cè)量,顯微測(cè)量,mapping等特殊要求。

易      用:

軟件界面直觀,操作簡(jiǎn)便,用戶體驗(yàn)出色。無(wú)需專(zhuān)業(yè)知識(shí)以及復(fù)雜的技術(shù)培訓(xùn),預(yù)先設(shè)置好測(cè)試配方后,每次重復(fù)調(diào)用即可。

性價(jià)比高:                                           

相對(duì)于傳統(tǒng)膜厚測(cè)量設(shè)備,NanoCalc擁有非常高的性價(jià)比。

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