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上海衡鵬能源科技有限公司
7134多角度切割機擁有 4“ 高功率空氣軸承主軸,30krpm時MAX2.5KW。直流無刷電機,閉環速度控制。覆蓋MAX 12“ 的圓形產品、12“ x 9“ 方形基板帶框架或 12“ x 12“ 卡盤(不帶框架)。
7134_ADT切割機/Dicing(多角度)
7134多角度切割機擁有 4" 高功率空氣軸承主軸,30krpm時MAX2.5KW。直流無刷電機,閉環速度控制。覆蓋MAX 12" 的圓形產品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤(不帶框架)。
系統配有閉環轉向臺,針對多角度切割進行優化,適用各種產品,例如:
·陶瓷基板
·氧化鋁
·混合物
·厚膜設備等
ADT切割機/Dicing 7134系統規格:
大面積系統配置:MAX300mm x 300mm
刀片尺寸:4"-5"
主軸:空氣軸承,直流無刷,30 krpm/2.5 kW
分度軸(y)
驅動裝置:滾珠軸承絲桿,配步進電機
控制:線性編碼器
分辨率:0.2 μm
累積精度:1.5 μm
分度精度:1.0 μm
傳送軸(X)
氣動滑塊
驅動裝置:滾珠軸承絲桿,配直流無刷電機
傳送速度:高達 600 mm/sec
切割深度軸(z)
驅動裝置:滾珠軸承絲桿,配步進電機
分辨率:0.2 μm
精度:2.0 μm
重復精度:1.0 μm
行程:50 mm
旋轉編碼器
Z線性編碼器 - 可選件
Z間隙高達3" - 可選
旋轉軸
驅動:閉環、直接驅動、直流無刷
精度:4 arc-sec
重復精度:4 arc-sec
行程:350度
ADT多角度切割機/Dicing 7134相關產品:
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