4000立方真空泵
③壓縮機內部有雜聲，應有專業人員檢查或更換壓縮機。
4、凈化干燥系統
①油分離效果不好
可能是氣體溫度較高，應檢查冷卻器風扇是否正常運轉，風扇葉片是否完好。
油分離器失效，更換油分離器。
②干燥效果不好
可能是分子篩飽和應進行自再生處理，也可能干燥過濾器堵塞，應拆開檢查，必要時更換內件。
5、儀表
①壓力控制器達到上下限值但不切斷電路，可能為壓力控制器線路有故障，應拆開檢查，必要時更換。
②其他壓力表或真空計讀數不準，可能為儀表損壞，應校驗或更換。
③各儀表不讀數，應檢查各接口是否完好。
6、系統
系統有漏氣聲，可能為各連接部位或部件附近有漏點，可用充氮法檢查并排除之。
4000立方真空泵
真空泵
①使用中注意事項
- 經常注意油位。
- 泵起動后再打開閥門。
- 經常注意泵運轉是否正常，有無特殊聲響，電機是否超負荷運轉。
- 注意泵溫升不超過40℃。
- 嚴禁用煤油、汽油、酒精等對泵作非拆卸的清洗。
- 若泵*擱置不用，應將油放盡，然后注入新油。
②換油期
新泵跑合運轉后，可能有少量金屬碎屑和其他雜質在油箱中沉積起來，對泵的性能不會有影響，但以除去為宜，*在使用100小時后，把油放出，把含有雜質的少部分油除去，其余的清潔油仍可用濾網過濾后加入泵內，酌量補充一點新油，以后的換油期，需油用戶根據使用情況和效果酌情決定。原則為一年更換一次（約2000小時）。
③換油方法
先開泵運轉約半小時，待油變稀，停泵從放油孔放油。再敞開進氣口運轉10~20秒，此間可以吸氣口緩緩加入少量新油。以更換泵腔內的存油，如出來的油很臟，后者可重復進行，不可用清洗液沖洗泵內存油和雜質。
④檢修應有專門人員進行。
2、SF6壓縮機
①使用注意事項
因啟動過頻會影響電機壽命，所以每小時啟動次數應盡量少于5次，每次停機時間應在3分鐘以上。
- 盡量避免壓縮機較長時間真空運轉，故回收時要注意觀察壓縮機進氣口壓力，當回收初壓力(M1)顯示為零表壓，達到預定值，及時停止壓縮機回收。
- 運轉中的油面應保持在視油鏡范圍內，即1/4-3/4位置。缺油停止運行。
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