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格林斯達(北京)環保科技股份有限公司
加工定制 | 否 |
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等離子水洗Local Scrubber設備,用于去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
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等離子水洗Local Scrubber設備,用于去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
LOCAL SCRUBBER工作原理
通過直流電源,使工作氣體(氮氣)進入等離子體反應器,在正負極qiang電流的作用下,被電離成等離子體,瞬間產生巨大的火焰,產生的高溫火焰將廢氣分解。
LOCAL SCRUBBER設備優勢
1、去除效率高,不需要燃料和熱源,耗能低;
2、處理高沸點廢氣,應用范圍廣;
3、高溫、反應速度快;
4、設備占地面積小、便于安裝。
本裝置的直流電弧等離子體為非轉移型,兩電極區域不參與反應,只產生等離子體,產生的火焰溫度可達3000度以上。
等離子反應器的MTBF大于1年,反應室內腔的材質耐熱和耐腐,具有四個進氣口,裝置具備冷卻區、噴淋區及兩級填料除霧區,對PFC溫室氣體的去除效率>90%。
LOCAL SCRUBBER性能參數
除效率 CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm MTBF >6months; MTTR<1.5hr cpvc="">1year 尺寸(mm) 800*800*1850 進氣口 NW50*4 耗能 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95% 水量<4slm
LOCAL SCRUBBER生產廠家
格林斯達環保集團,工藝廢氣治理系統解決方案提供商,提供廢氣治理一站式服務(方案規劃設計、設備生產及安裝、系統運行調試、智慧運維)。如您有Local Scrubber采購需求,即刻聯系我們吧!
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