控制面板

• 蒸氣，ALD和氣體流量的所有參數都集成到一個移動推車中，并由PLC通過6英寸觸摸屏進行控制： 
  • 兩通道ALD閥
  • 對于通道MFC氣體輸送 
• 請點擊下圖查看控制界面

ALD閥

• 兩個帶有脈沖控制器的ALD閥（持續時間至少10毫秒）
• 能夠用熱執行器加熱

液體蒸氣發生器

• 包括自動液體蒸氣發生器，并連接到ALD閥

旋轉爐

• 高1100ºC，可連續加熱
• 兩個可編程的精密數字溫度控制器，具有30個段。
• 輸入功率：208 – 240V AC輸入，大單相。4千瓦
• 轉速：0-10 RPM
• 4“石英管如下圖

          四個攪拌葉片                尺寸

防腐蝕壓力表

• 3.8x10 ^-5  至1125托測量范圍
• 防腐蝕，氣體類型獨立 
• 大氣中的高精度和可重復性，可實現可靠的大氣壓檢測
• 快速的大氣檢測消除了等待時間并縮短了處理周期
• 易于更換的即插即用傳感器元件
• 點擊圖片查看詳細規格。

真空泵 
（可選）

•  加工管內可達到10E-2 Torr 真空
• 不包括真空泵，建議您通過單擊下面的圖片訂購用于CVD工藝的干式泵
•       

• 單擊下面的圖片訂購用于CVD的起泡器或蒸發器
• 可以增加  Quartz Crysta l和熱電偶  來監控薄膜厚度和溫度，但需要額外付費

保證

一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件，例如處理管，O形圈和加熱元件）

合規
    

• CE認證

應用筆記單擊此處以了解如何 使用氣體調節器

• 帶石英管的管式爐設計用于真空和< 0.2 bar / 3 psi / 0.02 Mpa的低壓 
• 甲ttention：必須在氣瓶安裝的兩級壓力調節器，以限制壓力低于3 PSI安全操作。 
• 氣體的流量應限制為<200 SCCM（或200 ml / min），以減少對管子的熱沖擊
• 所有石英管爐的真空極限定義：*真空壓力只能在高1000°C的溫度下安全使用

應用

• 使用ALD可以顯著降低石榴石電解質和電極材料之間的高固-固界面阻抗。