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伯東Pfeiffer 普發磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上海伯東德國普發Pfeiffer磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M，ATP 2300M：抽速范圍在1400-2800l/s的磁懸浮渦輪分子泵。ATH 系列磁懸浮分子泵擁有5軸磁軸承監測系統和實時的轉子位移自動修正功能確保長時間的穩定性和可靠性，同時運行時也非常安靜。磁懸浮渦輪分子泵 ATH 系列廣泛應用于半導體、鍍膜和離子刻蝕等行業。
伯東Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M，ATP 2300M 優點：
1.清潔無油，大抽速
2.免維護低成本保養費
3.渦輪分子泵極低的噪音和震動
4.可任意角度安裝
伯東Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M，ATP 2300M 技術參數：：
分子泵型號 | 分子泵連接尺寸 DN | 抽速 l/s | 壓縮比 | zui高啟動壓強hPa | 極限壓力 | 全轉速氣體流量hPa l/s | 啟動時間 | 重量 | |||
進氣口 | 排氣口 | 氮氣 | 氦氣He | 氫氣 H2 | 氮氣 | 氮氣N2 | hPa | 氮氣N2 | min | kg | |
ATH 1603 M ATH 1600 MT | 250 | 40 | 1,400 | 970 | 540 | > 1X108 | 1.7 | < 6X10–9 | 67 | 6 | 42 |
ATH 2303 M ATH 2300 MT | 250 | 40 | 2,150 | 1,800 | 1,100 | > 1X108 | 2.9 | < 6X10–9 | 67 | 8 | 68 |
ATH 2800 M ATH 2800 MT | 250 | 40 | 2,200 | 2,400 | 1,550 | > 1X108 | 2.1 | < 6X10–9 | 84 | 10 | 93 |
ATH 3200 M ATH 3200 MT | 320 | 40 | 2,800 | 2,500 | 1,700 | > 1X108 | 2.1 | < 6X10–9 | 84 | 10 | 93 |
ATP 2300 M | 320 | 40 | 1,950 | 2,050 | 1,700 | > 1X108 | 2.1 | < 6X10–9 | 37 | 8 | 60 |
MT型號的分子泵配有集成加熱帶可以進行溫度控制。其自帶加熱系統和水冷系統同時作用，可以確保泵的工作溫度相對恒定(zui高工作溫度75°C)，同時zui小化過程化學物或副產物在泵體內因冷凝而產生的沉積。
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