穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，針座平臺可快速升降和微調(diào)，適合針卡測試；大手柄驅(qū)動(dòng)，操作舒適，無回程差設(shè)計(jì)；兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng) ；芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試；VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測試；高等院校/研究所/工業(yè)用戶實(shí)驗(yàn)室使用；可用于12英寸以內(nèi)樣品測試；VCSEL/LD/LED/PD的LIV/CV特性測試；精密絲桿傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特性

1. 穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，針座平臺可快速升降和微調(diào)，適合針卡測試

2. 大手柄驅(qū)動(dòng)，操作舒適，無回程差設(shè)計(jì)

3. 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)

4. 芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試

5. VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測試

6. 高等院校/研究所/工業(yè)用戶實(shí)驗(yàn)室使用

7. 可用于12英寸以內(nèi)樣品測試

8. VCSEL/LD/LED/PD的LIV/CV特性測試

9.精密絲桿傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)

主要技術(shù)指標(biāo)

型號		LS-WPS150-SC	LS-WPS200-SC		LS-WPS300-SC
外形		820mm長* 720mm寬* 890mm高	960mm長* 850mm寬* 900mm高		1300mm長* 920mm寬* 920mm高
重量		約170公斤	約230公斤		約300公斤
電力需求		220VC, 50~60Hz
樣品臺	尺寸	6英寸，可360度旋轉(zhuǎn)	8英寸，可360度旋轉(zhuǎn)		12英寸，可360度旋轉(zhuǎn)
	行程	X-Y行程6*6英寸		X-Y行程8*8英寸	X-Y行程12*12英寸
	移動(dòng)精度	1um
	樣品固定方式	真空吸附
	背電極測試功能	有，樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空
針座平臺	規(guī)格	U型平臺，多可以放置8個(gè)針座	U型平臺，多可以放置10個(gè)針座		U型平臺，多可以放置12個(gè)針座
	行程&調(diào)節(jié)方式	平臺可以快速升降，行程6mm，并帶自動(dòng)鎖定功能；可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1um
光學(xué)特性	顯微鏡行程	X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm
	顯微鏡移動(dòng)精度	1um
	切換鏡頭方式	顯微鏡快速傾仰30度
	放大倍數(shù)	20~4000X
	鏡頭規(guī)格	目鏡：10X; 物鏡：5X, 10X, 20X, 50X, 100X （選配）
	CCD像素	50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
點(diǎn)針規(guī)格	X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
	機(jī)械精度	10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
	漏電精度	10pA/100fA（配置屏蔽箱時(shí)）
	接口形式	香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA/K接口
應(yīng)用方向		晶圓測試，光電器件測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試，高壓/大電流測試等