可燃?xì)怏w便攜式報(bào)警儀 氣體傳感器Fe2O3也是目前廣泛應(yīng)油研究的材料。除了傳統(tǒng)的SnO、SnO2和Fe2O3三大類外,目前又研究開發(fā)了一批新型材料,包括單一金屬氧化物材料、復(fù)合金屬氧化物材料以及混合金屬氧化物材料。這些新型材料的研究和開發(fā),大大提高了氣體傳感器的特性和應(yīng)用范圍。
氣體傳感器樣式
4、穩(wěn)定性
實(shí)際應(yīng)用中,存在UT隨時(shí)間漂移的特性,為此,采用在HCl氣氛中生長一層SiO2絕緣層,可以顯著改善UT的漂移。
除氫氣外,其他氣體不能通過鈀柵,制作其他氣體的Pd—MOSFET氣敏傳感器要采用一定措施,如制作CO敏MOSFET時(shí)要在鈀柵上制作約20nm的小孔,就可以允許CO氣體通過。另外,由于Pd—MOSFET對氫氣有較高的靈敏度,而對CO的靈敏度卻較低,為此可在鈀柵上蒸發(fā)一層厚約20nm的鋁作保護(hù)層,阻止氫氣通過。鈀對氨氣分解反應(yīng)的催化作用較弱,為此,要先在SiO2絕緣層上沉淀一層活性金屬,如Pt、Ir、La等。再制作鈀柵,可制成氨氣敏MOSFET。
氣體傳感器描述
由不同原子構(gòu)成的分子會(huì)有*的振動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)頻率,當(dāng)其受到相同頻率的紅外線照射時(shí),就會(huì)發(fā)生紅外吸收,從而引起紅外光強(qiáng)的變化,通過測量紅外線強(qiáng)度的變化就可以測得氣體濃度;需要說明的是振動(dòng)、轉(zhuǎn)動(dòng)是兩種不同的運(yùn)動(dòng)形態(tài),這兩種運(yùn)動(dòng)形態(tài)會(huì)對應(yīng)不同的紅外吸收峰,振動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)本身也有多樣性;因此一般情況下一種氣體分子會(huì)有多個(gè)紅外吸收峰;
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