等離子光氧廢氣凈化器又稱等離子光氧凈化器。本工藝在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
1、等離子光氧廢氣凈化器微波激發區
本工藝有3至9個微波激發單位，根據被處理風量的不同數量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內作用于被處理空間（區域），由于微波的功率相對較小，因此在激發能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設計只是把微波作為初頻激發源，在處理過程中作為一種預激發能。由于微波的預激功能，較大的提高等離子體區，極板區的激發能力和處理效果，由于微波技術的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果*。
2、等離子光氧廢氣凈化器離子體激發
本工藝有40支至240支充有特別氣體的無極管組成的低溫等離子體激發區，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發體，較大限度地在無極管區實現低溫等離子體區，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有優良的能量平衡性，在粒子撞擊中失能較少。
3、等離子光氧廢氣凈化器極板區
根據被處具體以實際為主體的流量，極板間的電壓分12KV、16KV至42KV，極板間加以足夠高的電壓，在引風的作用下，極區由于負壓的作用，按照法拉第暗區理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當概率的粒子可能實現低溫等離子體。
根據三類的功能區，集中的目的是實現低溫等離子體，由于理論和實際使用條件上的區別，單一的方法獲得低溫等離子體，從功率上，外部條件上都存在差距。本工藝集三種技術與一體，原廢氣的去除率非常理想。
電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實際使用中實現廢氣的處理是極為復雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內完成。從理論到模型都能探究到相關的機理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時間內躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分斷裂，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質量小，被進一步躍遷，與反應堆內的氧離子氫氧根離子發生反應，生成性能穩定無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應堆內臭氧以及紫外線的作用，去除不同范疇的廢氣化合物，實地較為廣譜的去除空間。
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場+電子→性能穩定電子
(2) 性能穩定電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，性能穩定電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
