lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S

低壓差質量流量控制器，最小工作壓差為800Pa。

使用示例

低蒸氣壓氣體溫度下的流量控制

MC-3000S是一款低壓質量流量控制器，如果二次側通過其專有的低壓降結構進行抽真空，即使在室溫下也能對H2O等液體原料進行流量控制。 推薦使用ITO濺射方法，該方法將少量水蒸氣發送到真空室。 此外，即使在室溫下，即使是低蒸氣壓的固體原料（如 XeF2），也可以進行流量控制。

減壓罐船（SDS集裝箱）的流量控制

離子注入機中使用AsH3和PH3等特殊材料氣體，并且通常使用安全輸送源（SDS）容器來安全穩定地供應它們。 SDS填充的罐壓低于大氣壓，需要能夠在低壓差下控制流量的MFC。 MC-3000S 具有的低壓降結構，可在低至 800 Pa（6 Torr）的壓差下實現流量控制。

lintec低壓差質量流量控制器MC-3000S

規格

* 規格表為具有一般規格的質量流量控制器。 可以通過選項進行更改。