陳霞
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日本shinkuu鋨涂層設備HPC-1SW
該裝置是用于電子顯微鏡觀察的鋨涂層裝置。使用空心陰極樣品架，并通過低壓放電進行涂層，因此幾乎沒有樣品損壞。由于在空心陰極內部會產生均勻的高密度等離子體，因此放置在圓柱體內的樣品表面會形成一層厚度均勻的 Os 膜，而不受樣品高度和材料的影響。由于向空心陰極注入所需量的鋨氣體，消耗量小，未反應的氣體用活性炭捕集器吸附去除，抑制有害氣體釋放到大氣中。
日本shinkuu鋨涂層設備HPC-1SW
主要產品規格
| 物品 | 規格 |
| 電源 | AC100V（單相100V15A）1臺 |
| 設備尺寸 | 寬 200 毫米 x 深 350 毫米 x 高 375 毫米 （設備重量 15.5 公斤） |
| 泵尺寸 | 排氣速度 50? / min (G-50DA 特殊型) 寬 156mm x 深 341mm x 高 200mm (泵重量 12Kg) |
| 樣品室尺寸 | 內徑 120 毫米 x 高 90 毫米（硬玻璃） |
| 陰極尺寸 | 內徑 105 毫米 x 深度 37 毫米（空心陰極方法） |
| 樣品臺尺寸 | 直徑50毫米（浮動法） |
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