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日本shinkuu全自動φ100mm金屬鍍膜設備MSP-20MT
該裝置是在電子顯微鏡樣品上涂敷貴金屬薄膜并進行導電處理的裝置。配備4英寸靶材，可在大樣品上鍍膜，具有無需復雜操作程序的可操作性。
日本shinkuu全自動φ100mm金屬鍍膜設備MSP-20MT
| 物品 | 規格 |
| 電源 | AC100V，15A 3芯插頭帶地線 |
| 設備機身尺寸 | 寬 350 毫米 x 深 440 毫米 x 高 350 毫米 （設備重量 20 公斤） |
| 旋轉泵 | 排氣速度50?/min (GLD-051) (重量14.6kg) |
| 樣品室尺寸 | 內徑 149 毫米 x 高 82 毫米（硬玻璃） |
| 電極樣品臺間距 | 50mm |
| 樣品臺 | Φ100mm |
| 可安裝的樣品尺寸 | > Φ100mm（可安裝尺寸Φ130mm） 高度35mm |
| 飛濺靶金屬規格 | Φ100 mm（有效直徑98 mm），厚度0.1 mm Au、Pt、Pt-Pd、Pd、Ag |
| 大氣氣體 | Air（空氣）或 Ar（氬氣） |
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