陳霞
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日本fcon氣體混合器CUBE GM系列
日本fcon氣體混合器CUBE GM系列
| 產品名稱 | CUBE GM系列 |
|---|---|
| 尺寸 | CUBEGM2: W315 × D298 × H250 (mm) * 不包括突起 CUBEGM3: W415 × D298 × H250 (mm) * 不包括突起 CUBEGM4: W515 × D298 × H250 (mm) * 不包括突起 |
| 輸入電源 | AC100V |
| 目前的消費 | MAX 1A * 安裝 4 個質量流量控制器時 |
| 流量控制范圍 | 1 行：FS10SCCM ~ 20SLM * 但是，混合氣體流量必須為 50SLM 或更少。 |
| 流量控制 | MFC：C1000系列或FCST1000系列 |
| 流量設定/輸出顯示 | 0-5VDC |
| 入口、出口閥 | 球閥 |
| 外漏 | ≦ 5 × 10 -7 Pa ? m 3 / sec He |
| 耐壓 | 1MPa |
| 氣體接觸材料質量 | SUS316、PTFE、氟橡膠 （FCST1000系列：磁性不銹鋼、氟橡膠或氯丁橡膠） |
| 管道連接 | 如需 1 / 4in.SWL（等效）和其他配件，請聯系我們。 |
| 使用環境 | 溫度：5 至 50°C 精度保證范圍：15 至 35°C 濕度 30 至 80%（無冷凝） |
| 配件 | AC 電纜 (2m)、使用說明書 |
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