陳霞
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日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701HMCⅡ
特征
支持W（鎢）/ Ni（鎳）/ Cr（鉻）/ Ti（鈦）等成膜的DC濺射設備。
使用磁控管陰極
內置微型計算機對成膜過程進行高精度控制
操作方式為全自動/手動兩種模式
標配自動快門機構
應用/結果示例
W / Ni / Cr / Ti等的成膜
燃料電池基礎實驗
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-701HMCⅡ
基本規格
| 陰極 | φ2英寸磁控管陰極 |
| 快門機制 | 自動/手動操作 |
| 氣體導入機制 | 針閥（自動/手動控制） |
| 真空泵 | 直連式旋轉泵：100l / min（有自動泄漏） |
| 箱體尺寸 | 內徑φ160mmx D160mm（SUS制） |
| 樣品交換方法 | 前門開合式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 機身： 360/360 / 260mm RP：174/460 / 264mm |
| 重量 | 身體：20公斤 RP：23公斤 |
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