西安低溫等離子廢氣處理設備低溫等離子體主要是由氣體放電產生的。氣體放電就是指通過某種機制使一個或幾個電子從氣體原子或分子中電離出來，使之形成電離氣體。然后電離氣體由外電場產生并形成傳導電流（即氣體放電現象），從而獲得等離子體。放電方式有輝光放電、電暈放電、介質阻擋放電、射頻放電及微波放電等。

西安低溫等離子廢氣處理設備由于低溫等離子體中存在著很多活性很高的粒子如電子、粒子、活性基團等，所以它的化學活性很高，而能跟許多難降解的污染物發生反應，使被處理的污染物得以轉化或分解。低溫等離子體的凈化機理是使數萬度的高能電子與氣體原子或分子發生非彈性碰撞，從而使氣體通過激發、離解和電離等一系列過程活化。

利用低溫等離子體處理廢氣時，等離子體內部會發生各種類型的化學反應，這主要取決于電子的平均能量、電子密度、氣體溫度、污染物氣體分子濃度及共存的氣體成分等因素。一般說來，當電子能量＜10eV時會產生活性自由基，被等離子體活化后的污染物分子經過等離子體定向鏈化學反應后被脫除；而當電子平均能量大于污染物分子化學鍵能時，污染物就會因為化學鍵的斷裂而分解。電子能量＜10eV時會產生活性自由基，被等離子體活化后的污染物分子經過等離子體定向鏈化學反應后被脫除；而當電子平均能量大于污染物分子化學鍵能時，污染物就會因為化學鍵的斷裂而分解。