本系統主要由以下部分組成：

1.四組分配氣混合裝置

2.計算機與操作軟件

   3.便攜式濕度發生裝置(選配，配好的標氣經過該外設裝置)

該多組分動態配氣系統配置4路質量流量控制器，可實現2—4個組份氣體混合配比。

系統數據庫內有多達四五十種氣體，使用時通過計算機直接調取選擇。

混合氣體*大流量：≈ 20 L/min。

配氣通道：4路

多組份動態配氣系統主要設備清單

1.   氣體質量流量控制器（美國）

Model：F-201CV  Fluid：Air  Range：0.4…20Ln/min

Model：F-201CV  Fluid：H₂   Range：0.2…10 Ln/min

Model：F-201CV  Fluid：N₂   Range：0.1…5Ln/min

Model：F-201CV  Fluid：N₂   Range：0.1…5Ln/min

**度：±0.5%RD+0.1%FS

密封：Viton(耐高溫氟素橡膠)

響應時間：1…2seconds

重復性：< ±0.2% Rd

量程比：1:50（數字模式為：1:187.5）

泄漏率: tested < 2 x 10-9 mbar l/s He

電源：＋15…24VDC@320mA

使用溫度：-10…70 ℃

壓力靈敏度：0,1% Rd/bar typical N₂; 0,01% Rd/bar typical H₂

溫度靈敏度：Zero：<0.05% Rd /℃; Span：<0.05%Rd/℃

輸出：4…20mA and RS-232

2.   氣路

整個多組分動態配氣系統氣路均采用防腐防吸附的316L不銹鋼管或者聚四氟乙烯管,內表面光滑

3.   轉子流量計

方便使用,配制出來多余的氣體可以通過調節轉子流量計直接排出.

4.計算機及系統軟件

1)多組分動態配氣系統通過觸摸屏或者計算機操作,計算機需要另選配氣軟件。

2)四組分配氣軟件

多組分動態配氣系統根據要求，可以設置鋼瓶和對應的端口。并可以通過流量模式和濃度模式配氣。通過軟件自動計算，氣體質量流量控制器自動調節控制氣體流量，以實現氣體配比濃度要求。

5.便攜式濕度發生裝置（選配）  

  該裝置采用國際*新的加濕技術，管殼式的水分交換器，可以使水氣在液態水和氣體中傳輸。水分被管壁吸收后以蒸汽的形式傳輸到氣體中。傳輸過程是由管壁兩邊水氣分壓差驅動。可以調節不同的濕度輸出，同時實時顯示濕度值。耐腐蝕,僅加濕,不改變氣體成分,濕度范圍：0-98%RH,較大流量：10 L/min, 氣體壓力：<20 psig