*的微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學(xué)品，該粒子計(jì)數(shù)器需要經(jīng)過(guò)高度過(guò)濾，適用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化學(xué)式粒子計(jì)數(shù)器具有20 nm的粒子靈敏度，是目前靈敏度zui高的高純度工藝化學(xué)品粒子傳感器。

詳細(xì)介紹

Chem 20™ 化學(xué)式粒子計(jì)數(shù)器

靈敏度: 20 - 100 nm

Chem 20^™ 化學(xué)式粒子計(jì)數(shù)器

*的微電子工藝需要非常潔凈的工藝化學(xué)品，該粒子計(jì)數(shù)器需要經(jīng)過(guò)高度過(guò)濾，適用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化學(xué)式粒子計(jì)數(shù)器具有20 nm的粒子靈敏度，是目前靈敏度zui高的高純度工藝化學(xué)品粒子傳感器。

來(lái)自化學(xué)品輸送和包裝系統(tǒng)的廣泛數(shù)據(jù)證明，與其競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品相比，具有20nm靈敏度的PMS Chem 20傳感器統(tǒng)計(jì)出的顆粒濃度較大，數(shù)據(jù)具有統(tǒng)計(jì)意義。 Chem 20化學(xué)顆粒計(jì)數(shù)器是非常有用的工具，在化學(xué)顆粒源影響工藝和設(shè)備性能之前，它使設(shè)備和工藝工程師能夠快速檢測(cè)并描述化學(xué)顆粒源。

特點(diǎn)

*的激光光學(xué)和檢測(cè)器使檢測(cè)化學(xué)物質(zhì)的靈敏度達(dá)到20 nm
車(chē)載化學(xué)流量計(jì)用于設(shè)定樣品流量
*個(gè)能針對(duì)低和高折射率化學(xué)品進(jìn)行優(yōu)化的顆粒計(jì)數(shù)器，以提高產(chǎn)品性能：
Chem 20傳感器，用于具有較低折射率的化學(xué)品
Chem 20-HI傳感器，適用于硫酸和其他高指數(shù)化學(xué)品
內(nèi)部泄漏檢測(cè)會(huì)在內(nèi)部化學(xué)品泄漏時(shí)提供報(bào)警
低流量檢測(cè)器和報(bào)警器，以確保數(shù)據(jù)*
宏觀(guān)氣泡探測(cè)器用于保護(hù)傳感器性能
本地?cái)?shù)據(jù)顯示

優(yōu)點(diǎn)

實(shí)時(shí)檢測(cè)20 nm PSL和9 nm Au微粒
檢測(cè)影響良率的粒子（競(jìng)爭(zhēng)技術(shù)無(wú)法達(dá)到）
在掃描表面或得到數(shù)據(jù)之前，快速響應(yīng)粒子偏移
優(yōu)化化學(xué)品輸送系統(tǒng)，覆蓋從裝卸碼頭到加工點(diǎn)的整個(gè)過(guò)程
改善樣本的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，加強(qiáng)過(guò)程工藝控制
針對(duì)不同潔凈度的產(chǎn)品，使用兩種視圖模式優(yōu)化儀器操作，拓展產(chǎn)品應(yīng)用空間
傳統(tǒng)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)能夠靈活通信

應(yīng)用

化學(xué)輸送系統(tǒng)內(nèi)的實(shí)時(shí)粒子監(jiān)測(cè)
流程監(jiān)控點(diǎn)
化學(xué)包裝操作監(jiān)控
化學(xué)過(guò)濾器性能和效率描述
化學(xué)處理部件的性能測(cè)試

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